Occasion TEGAL 980ACS #9395473 à vendre en France

TEGAL 980ACS est un graveur et asher conçu pour les professionnels du traitement des semi-conducteurs et de la recherche. Il s'agit d'un équipement entièrement automatisé, à haut débit et à haut débit conçu pour traiter des plaquettes dans une variété d'applications. TEGAL 980 ACS dispose d'un système de contrôle basé sur PC et d'une architecture 16-bit-RISC-driven pour assurer un contrôle rapide et très précis du processus de gravure. L'unité fournit également une large gamme de capacités, y compris : plusieurs recettes de processus et des paramètres très réglables ; une interface utilisateur graphique (GUI) basée sur Windows XP pour la sélection des recettes et des paramètres ; contrôle de la température, de la pression et du débit ; options de chargement et de déchargement ; et un 750W générateur à micro-ondes. L'etcher dispose de deux chambres indépendantes, chacune pouvant contenir jusqu'à une plaquette de 6 pouces. Les deux chambres sont capables de réguler passivement, ou activement, tandis que tous les autres paramètres de gravure restent constants. Les températures des chambres sont programmables à partir de la température ambiante jusqu'à 700 ° C, avec la capacité de chauffer à un taux de 3 ° C par seconde. 980ACS dispose également d'une machine de chargement/déchargement automatisé qui est conçue pour être compatible avec divers rubans de transport et cassettes de wafer. L'outil peut traiter jusqu'à 12 plaquettes par minute et dispose d'un écran tactile pour enregistrer et afficher les données de processus de gravure en temps réel. L'actif opère sur un pouvoir 208-VAC de trois phases et est capable de livrer un total de jusqu'à 750W du pouvoir des deux chambres. Comme l'un des graveurs les plus avancés de l'industrie, 980 ACS est capable de produire avec précision des profondeurs de gravure allant jusqu'à μ m, ce qui le rend idéal pour des applications telles que la gravure profonde, l'implantation et la photolithographie.