Occasion TEGAL 981 #9159791 à vendre en France

TEGAL 981 est un graveur/asher avancé pour l'industrie de la nano-fabrication. Il est spécialement conçu pour la gravure de précision et l'ashing de matériaux microélectroniques, en utilisant des techniques avancées de génération de plasma. 981 offre une gravure rapide et fiable des fonctions de résolution sous 45nm avec sa combinaison de gravure ionique réactive profonde (DRIE) et des capacités de plasma inductif couplé (ICP). TEGAL 981 est équipé d'une large gamme de chambres de procédés qui permet une large gamme de techniques de gravure et de cendrage et une variété de matériaux, y compris le silicium, le verre et la céramique. Il est équipé d'un système de pompage de 13 cm de long, de chambres RIE et ICP, ainsi que d'une pompe turbo-moléculaire à vide. Cela permet un contrôle précis des processus de gravure, avec la capacité d'atteindre une précision de niveau nanométrique. Le système est également équipé de capteurs et de moniteurs supplémentaires qui permettent des réglages de contrôle en temps réel et l'optimisation, tandis que les mécanismes de sécurité intégrés assurent des niveaux de contamination ultra bas. L'une des caractéristiques les plus impressionnantes de la 981 est son uniformité de gravure. Avec sa combinaison de capacités ICP et DRIE, il peut graver des couches avec une uniformité d'épaisseur allant jusqu'à 1 %. Cela le rend idéal pour la gravure de matériaux allant des couches métalliques aux isolants et aux oxydes métalliques. Il est également capable de fournir une très grande profondeur de gravure, jusqu'à 500um, ce qui le rend adapté aux applications de traitement de haut rapport d'aspect. TEGAL 981 offre également un fonctionnement rentable par rapport aux autres graveurs, grâce à sa capacité à traiter plusieurs pièces simultanément. Cela peut se traduire par des économies de coûts importantes en termes de réduction des coûts matériels ainsi que des coûts de main-d'oeuvre. En outre, le système est livré avec une gamme de fonctionnalités avancées qui permettent une plus grande flexibilité lors de la gravure de formes et de caractéristiques complexes, y compris la compatibilité avec une variété de programmes de CAO. Cela en fait un choix idéal pour tous les besoins de nano-fabrication.