Occasion TEGAL 981 #9249070 à vendre en France

TEGAL 981 est un équipement de graveur/asher de pointe conçu pour la précision et des performances supérieures. Ce système peut être utilisé pour un large éventail d'applications de gravure et de cendrage, y compris pour les semi-conducteurs, les écrans plats, les MEMS et d'autres composants électroniques. 981 établit une nouvelle norme pour la gravure avancée et le cendrage en offrant une flexibilité et une extensibilité supérieures. TEGAL 981 dispose d'une technologie de base de réduction des interférences électromagnétiques (EMI) qui utilise des écrans conducteurs et des écrans en combinaison avec un porte-plaquettes, une source d'alimentation et un socle collecteur. Ceci permet un processus de gravure et de cueillette sûr et uniforme, tout en réduisant la signature EMI de l'unité. 981 dispose également d'un porte-plaquettes compatible avec différentes tailles de plaquettes, d'une machine manuelle et automatique de contrôle de la pression, et d'une recette configurable de procédé de gravure/cendres. TEGAL 981 est capable de graver et d'aspirer rapidement et précisément des produits de différentes tailles et formes. Cet outil est configurable pour la gravure et la cueillette avec une large gamme de recettes de début et de fin de gravure/cueillette. La 981 permet également la gravure et le cendrage de différents substrats tels que le silicium, le quartz et les alliages métalliques, ainsi que la gravure du verre et du saphir dans la même chambre de gravure. En plus des capacités de gravure et de cueillette, TEGAL 981 comprend une chambre à gaz pour le dénudage et l'implantation de résines photosensibles. Cette chambre est capable de fonctionner à basse pression, telle que 100 mTorr, et vitesse jusqu'à 1000 pas/seconde. En outre, l'actif dispose d'une interface conviviale avec le mode d'entraînement ainsi que d'un affichage graphique couleur. 981 est fait de matériaux de qualité supérieure, et sa construction est conçue pour prévenir la contamination et éliminer l'accumulation de chaleur. Ce modèle répond également à des normes de sécurité strictes et est conforme à différentes réglementations internationales en matière de sécurité. Il dispose d'un équipement breveté de récupération d'énergie (ERS), conçu pour réduire la consommation d'énergie tout en assurant des performances élevées de gravure et de cendrage. TEGAL 981 est un excellent choix pour toute application de gravure et d'ashing. Ses performances et sa flexibilité supérieures, ainsi que sa signature EMI réduite en font l'un des systèmes de gravure/ashing les plus avancés du marché.