Occasion TEGAL 981 #9267872 à vendre en France

TEGAL 981 est un graveur/asher largement utilisé dans les industries des semi-conducteurs et de la microélectronique pour diverses applications. 981 est un appareil de gravure/cendrage avancé complet. Il dispose d'un processus automatisé à trois niveaux pour la gravure et l'ashing, et il est capable de plusieurs tailles de plaquettes jusqu'à 200 mm. La plage de température de l'appareil est de 25 ° C à 200 ° C, et la chambre est capable d'un temps de gravure/cueillette de 0 à 99 secondes. Le système dispose également d'une capacité de gravure sèche et d'un processus facultatif de dépôt en phase vapeur. TEGAL 981 utilise un procédé de gravure plasma avancé, avec la flexibilité d'utiliser une variété de gaz. Il supporte Cl₂, CO₂, CF₄, O₂ et H₂, avec une plage de pression de 10 mtorr à 500 mtorr. Cela permet de graver même les matériaux les plus difficiles, y compris le silicium polycristallin, le GaAs et les nitrures, et avec une répétabilité exceptionnelle. La conception de l'unité comprend également un contrôleur de température, un contrôleur de densité de vide (VADC), un détecteur de flamme et un contrôleur de machine basé sur EtherNet. Le régulateur de température surveille et ajuste la température et maintient la stabilité de la chambre. Le VADC assure un contrôle précis du débit de la chambre, assurant une vitesse de gravure constante. Le détecteur de flamme empêche toute inflammation indésirable dans la chambre, et le contrôleur d'outils et l'interface utilisateur basés sur EtherNet simplifient le fonctionnement, la surveillance et le diagnostic. La chambre dispose d'un système ULL (Ultimate Load Lock), avec des portes de chargement et de déchargement séparées. Ce modèle élimine la contamination interne et assure la propreté des plaquettes et des qualités de composition reproductibles entre les lots. Le contrôle de pression est très précis et répétable, avec une plage de pression de 1 mtorr à 700 mtorr. Cela permet un contrôle précis des taux de gravure et des résultats de gravure de haute qualité. 981 est la solution parfaite pour graver et aspirer les composants de précision. Ses caractéristiques avancées, y compris la gravure plasma avancée, le contrôle précis de la pression et de la température, et le débit élevé, en font une solution idéale pour un large éventail d'applications.