Occasion TEGAL Chamber for 415 Plasma asher #293661204 à vendre en France

TEGAL Chamber for 415 Plasma asher est une technologie avancée de gravure/cueillette utilisée dans la production et la recherche de semi-conducteurs. Le Plasma Asher 415 permet des processus de gravure et de cueillette rapides dans un environnement d'oxygène ou de gaz de procédé avec un contrôle précis de la température. La chambre a une empreinte très faible et est conçue pour une utilisation facile. Il a un intérieur en acier inoxydable et un design spécial Tungstène Chambre d'interaction pour une meilleure uniformité de la distribution de gaz de procédé. La chambre est équipée de dispositifs de sécurité de pointe, tels que : des embouts de sécurité, un moniteur de pression à double chambre et des électrovannes d'arrêt de sécurité, pour assurer un fonctionnement sûr. La chambre est équipée d'un générateur RF à faible volume, pic, moyen et ultra-rapide, qui permet une large gamme de conditions de fonctionnement. Il fournit des résultats de gravure et de cueillette très précis et reproductibles avec des débits faibles jusqu'à 400 mmHg. L'équipement avancé de commande de mouvement de la chambre assure une uniformité maximale du processus en contrôlant avec précision la position de l'échantillon. Un système de filtre perméable à contrôle adaptatif aide à maintenir des surfaces de chambre propres et prévient la contamination par les particules chargées. TEGAL Plasma Asher a une grande capacité de chambre et peut traiter des tailles de plaques de processus jusqu'à 244mm (carré ou rectangulaire). Il dispose également d'une unité numérique de contrôle de la pression des gaz, qui permet de limiter la contamination par les particules en suspension dans l'air et permet une gravure très précise. La chambre est recouverte d'une machine de chauffage de pointe, qui permet de réagir rapidement aux changements de température. Le 415 Plasma Asher est conçu pour fournir des performances et une répétabilité cohérentes en répondant aux paramètres de processus propres au client. Il est facile à utiliser et à entretenir, et est conçu pour augmenter la productivité et réduire le coût par rapport aux technologies de gravure/ashing existantes. Il assure des plaquettes de haute qualité et maximise le rendement. Ses caractéristiques de sécurité avancées et son outil de contrôle de mouvement en font un atout fiable pour les processus de gravure et d'ashing.