Occasion TEGAL CS980 #293754219 à vendre en France

TEGAL CS980 est un équipement de pointe conçu pour les procédés avancés de fabrication de semi-conducteurs et de microélectroniques. Cet outil très polyvalent intègre plusieurs modules de processus pour permettre une large gamme d'applications de gravure et de cueillette avec une précision et un contrôle exceptionnels. CS980 est équipé de fonctionnalités et de capacités avancées qui en font un choix de premier plan pour la recherche et le développement ainsi que des environnements de production nécessitant des équipements fiables et performants. TEGAL CS980 dispose d'un design modulaire qui permet une personnalisation et une évolutivité faciles pour répondre aux exigences spécifiques des différentes applications de processus. Le système est généralement configuré avec plusieurs chambres de processus, chacune dédiée à une étape de processus spécifique comme la gravure, le dénudage, le nettoyage, ou la modification de surface. Cette disposition modulaire permet une intégration efficace des processus et maximise l'utilisation de l'outil en permettant un traitement parallèle de plusieurs substrats. Une des principales capacités de CS980 est sa technologie avancée de traitement du plasma, qui permet un contrôle précis des paramètres tels que le débit de gaz, la pression, la puissance et la température pour obtenir des résultats très uniformes et reproductibles. L'unité est équipée d'une source de plasma RF haute fréquence qui génère un environnement plasma basse pression adapté aux processus de gravure et de cueillette de haute précision. La source RF fonctionne à des fréquences dans la gamme MHz, offrant une excellente stabilité et uniformité du plasma à travers la chambre de traitement. TEGAL CS980 est également équipé d'une machine de distribution de gaz sophistiquée qui permet un contrôle précis des débits et des compositions de gaz lors du traitement. Cet outil comprend des régulateurs de débit massique, des régulateurs de pression et des collecteurs de gaz qui assurent l'acheminement précis et fiable des gaz de traitement vers la chambre de traitement. L'actif de livraison de gaz est conçu pour soutenir un large éventail de produits chimiques et de recettes de procédés, ce qui rend CS980 adapté à une variété d'applications de gravure et de cueillette. En plus de ses systèmes avancés de distribution de plasma et de gaz, TEGAL CS980 dispose d'un modèle de manipulation de substrat de haute précision qui assure un positionnement et un alignement précis des substrats lors du traitement. L'équipement est équipé de bras robotiques, de mandrins de plaquettes et d'effecteurs d'extrémité qui permettent le chargement et le déchargement automatisés des substrats, ainsi que le contrôle précis des mouvements des substrats à l'intérieur de la chambre de traitement. Ce système automatisé de manutention minimise l'intervention humaine et réduit le risque d'endommagement ou de contamination du substrat lors du traitement. CS980 comprend également un logiciel d'interface et de contrôle convivial qui permet aux opérateurs d'établir facilement des recettes de processus, de surveiller les paramètres de processus en temps réel et d'analyser les données de processus aux fins d'optimisation et de dépannage. L'interface logicielle fournit des outils intuitifs pour le développement de recettes, la surveillance des processus et l'analyse des données, ce qui permet aux utilisateurs d'obtenir des résultats optimaux avec une formation minimale. Dans l'ensemble, TEGAL CS980 est une unité de graveur/asher très sophistiquée qui combine une technologie avancée de traitement du plasma, des systèmes précis de distribution de gaz et des capacités de manutention automatisée des substrats afin d'offrir des performances et une fiabilité supérieures pour un large éventail de procédés de fabrication de semi-conducteurs et de microélectroniques. Avec sa conception modulaire, ses fonctionnalités avancées et son interface conviviale, CS980 est un outil polyvalent qui offre un contrôle et une flexibilité exceptionnels pour les applications de recherche et de production de pointe dans l'industrie des semi-conducteurs.