Occasion TEGAL Plasmaline 200 #9141854 à vendre en France

TEGAL Plasmaline 200 est un graveur/asher avancé de haute précision équipé d'un générateur RF puissant et d'un équipement de verrouillage de charge de grande capacité. Cette machine est conçue pour effectuer la plus large gamme de processus de gravure avec des résultats optimaux. Le générateur de plasma sur Plasmaline 200 produit des plasmas à haute température avec une large gamme de niveaux d'énergie plasmatique et de chimies de gaz. Le générateur RF peut être ajusté pour permettre un meilleur contrôle de la distribution du plasma sur la surface de la gravure. Il en résulte une meilleure reproductibilité et fiabilité des procédés. La chambre haute pression et le système de serrure permettent aux utilisateurs d'avoir une grande capacité d'alimentation et fournissent une atmosphère contrôlable pour le processus de gravure. Un vaporisateur facultatif peut être ajouté pour la gravure en phase vapeur. Les espèces vaporisées sont livrées à l'intérieur de la chambre de gravure pour effectuer des gravures sèches avec un haut niveau de contrôle. Le logiciel facile d'utilisation de TEGAL Plasmaline 200 offre aux utilisateurs des capacités de développement de processus, permettant une optimisation améliorée des recettes. L'unité est équipée de fonctions de surveillance en temps réel et d'enregistrement des données pour chaque processus de gravure, ainsi que de positionnement intégré de plaquettes avec plusieurs configurations de tête de gravure. La conception avancée de Plasmaline 200 le rend adapté à la gravure d'une large gamme de matériaux, dont le silicium, le nitrure de gallium, l'arséniure de gallium et d'autres matériaux. Les compétences automatisées de la machine facilitent la production et la mesure, tandis que sa grande précision et sa reproductibilité permettent un développement avancé des procédés. En résumé, TEGAL Plasmaline 200 est un graveur/asher puissant et polyvalent qui utilise un générateur RF puissant et une machine à verrouillage de charge de grande capacité pour garantir une gravure de haute précision avec des résultats optimaux. Les fonctions automatisées de contrôle et de surveillance du processus de la machine le rendent adapté à une utilisation dans des applications avancées de développement de processus.