Occasion TEGAL Plasmaline 515 #9244783 à vendre en France

TEGAL Plasmaline 515 est un équipement avancé de gravure et de cueillette de plasma sec. Il est conçu pour assurer le traitement en ligne d'un large éventail de matériaux, tels que l'oxyde de silicium, le GaAs, le nitrure de gallium et la résine photosensible. Plasmaline 515 dispose d'une source de plasma haute résolution sous vide et d'une source de plasma micro-ondes sophistiquée. Il utilise plusieurs canaux hyperfréquences pour obtenir des résultats précis de gravure et de cendres de manière efficace et productive. TEGAL Plasmaline 515 est conçu avec une automatisation avancée, lui permettant de détecter automatiquement les paramètres plasmatiques et d'effectuer des ajustements pour assurer une gravure uniforme et la production de cendres. Son système de contrôle sophistiqué assure un contrôle technique précis de la gravure et des cendres sur l'ensemble de la chaîne de traitement intégrée. De plus, l'unité dispose d'un contrôle de gaz de processus indépendant, lui permettant d'obtenir des conditions de processus optimales et d'effectuer des corrections rapidement et avec précision. Plasmaline 515 est également capable de supporter plusieurs formats pour les plaquettes et les niveaux d'homogénéité de gravure les plus élevés possibles. Il est conçu pour utiliser une technologie innovante, qui aide à maintenir une uniformité de gravure supérieure. Il possède également un support de substrat inclinable, ce qui contribue à améliorer l'uniformité des motifs de gravure. TEGAL Plasmaline 515 dispose d'un design modulaire, permettant des mises à niveau et des améliorations au besoin. Il utilise une machine de refroidissement sous vide entièrement intégrée pour refroidir le substrat avant et après gravure. L'outil de refroidissement sous vide aide à améliorer l'uniformité de gravure et le débit de traitement, tout en préservant la durée de vie de la chambre de procédé. En résumé, Plasmaline 515 est un graveur à plasma sec avancé qui assure le traitement en ligne de plusieurs matériaux, avec des capacités de gravure et de cendres très précises. Il dispose d'une automatisation avancée, de systèmes de contrôle sophistiqués et de conceptions modulaires, lui permettant de répondre aux normes de qualité les plus élevées.