Occasion TEGAL Plasmaline #89914 à vendre en France

TEGAL Plasmaline est une gravure et des cendres utilisées dans la gravure sèche de couches diélectriques et métalliques. Il utilise un mélange gaz argon-chlore haute pression et haute température pour graver et asher les caractéristiques sur la surface d'une pièce de travail. Ce procédé peut être utilisé pour la gravure profonde et peu profonde. De plus, le processus asher peut également être utilisé pour contrôler la topographie locale. Plasmaline etcher/asher a deux chambres qui sont utilisées pour la gravure sèche. La première chambre est un plénum de tête de douche, qui injecte un gaz ArCl haute pression dans la chambre de réaction à travers la tête de douche, créant une distribution uniforme du gaz. La pression et la température de la chambre de réaction sont déterminées par la pression et la puissance du mélange gazeux ArCl. La gravure est ensuite effectuée dans la chambre de réaction. La deuxième chambre est la chambre de stabilisation qui contrôle la montée en pression au cours de la gravure et assure un contrôle supplémentaire du procédé. TEGAL Plasmaline est un système entièrement automatisé qui peut contrôler la pression, la température et le débit de gaz. Cela permet d'assurer un résultat de gravure et une répétabilité cohérents. Le contrôle du système se fait à l'aide d'un contrôleur logique programmable (PLC) intégré à l'etcher. Cela permet des changements de paramètres faciles en fonction des besoins du projet. La plasmaline est adaptée aux applications de gravure profonde et peu profonde. Le processus de gravure est anisotrope, ce qui signifie qu'il gravure plus rapidement dans certaines directions que dans d'autres. Typiquement, la vitesse de gravure est plus rapide sur les bords rayonnés du coin d'une caractéristique que sur les surfaces planes. Cela permet d'atteindre des caractéristiques vives et des tolérances serrées. TEGAL Plasmaline est également adapté pour le contrôle topographique local. Le procédé asher peut être utilisé pour éliminer le matériau uniformément de la surface d'un dispositif permettant des changements topographiques locaux. Ceci est utile pour la planarisation et d'autres applications où la topographie locale doit être contrôlée. Dans l'ensemble, Plasmaline est un graveur/asher fiable et robuste qui peut fournir des résultats cohérents et reproductibles dans une variété d'applications de gravure et de contrôle topographique local. Le contrôle qu'il fournit sur des paramètres tels que la pression, la température et le temps de réaction permet d'obtenir à chaque fois des résultats optimaux.