Occasion TEGAL Plasmod #133169 à vendre en France
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ID: 133169
Etcher, 115 VAC
13.56 MHz RF generator
Manual tuning
Pyrex chamber
Gas input
Inner chamber diameter is 4.25"
Outer chamber diameter is 4.5"
Chamber depth is 6.2".
TEGAL Plasmod est un graveur/asher de pointe combinant l'utilisation de techniques physiques et chimiques pour créer efficacement des motifs complexes sur une variété de matériaux. Le dispositif est constitué d'une chambre de gravure supérieure, dans la partie inférieure de laquelle est focalisé le faisceau laser, et d'une chambre de gravure inférieure pour l'émission de gaz. La chambre supérieure est équipée d'une buse amovible qui dirige précisément un faisceau laser CO2 au niveau du matériau cible. Ce laser fournit de l'énergie à l'emplacement qui doit être gravé. L'énergie laser réagit alors avec le matériau, enlevant ou modifiant la zone affectée du matériau pour correspondre au motif désiré. Le laser est également équipé d'un homogénéisateur de faisceau, qui assure un traitement de surface plus homogène. Dans la chambre inférieure, un générateur de gaz est utilisé pour remplir l'espace confiné de gaz inerte. En fonction du matériau et du motif désiré, le débit de gaz est ajusté en fonction des besoins. Ceci permet d'égaliser l'énergie laser et par conséquent, d'éviter la distorsion et la combustion du substrat. Plasmod est également capable d'effectuer une gravure chimique induite par laser (LICE), qui est un processus de production de motifs complexes en une fraction du temps par rapport aux récepteurs mécaniques réguliers gravés. Il s'appuie sur un graveur chimique, tel qu'un graveur ionique réactif, qui fonctionne comme un graveur sélectif et améliore l'énergie laser pour une élimination accrue du matériau. Le graveur d'ions réactif contribue également à réduire la contamination de surface et à maintenir le substrat intact tout au long du processus de gravure. TEGAL Plasmod offre diverses fonctions de contrôle de qualité, telles qu'une caméra vidéo CCD à trois axes, des images haute résolution et un logiciel de métrologie automatisé pour mesurer rapidement les zones gravées. L'etcher dispose également d'une interface utilisateur graphique qui permet un réglage facile et rapide des paramètres pour une productivité et une précision accrues. Plasmod est un outil polyvalent et puissant, adapté à une variété de processus de gravure et d'ashing et garantit un haut niveau de précision, de qualité et de répétabilité. L'appareil est un choix idéal pour ceux qui recherchent une solution avancée de gravure/cendrage et est capable de fournir des résultats exceptionnels dans les industries aérospatiale, médicale et automobile.
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