Occasion TEL / TOKYO ELECTRON 300T #9194184 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON 300T est un équipement de graveur/asher conçu pour la fabrication de dispositifs avancés. Ce système prend en charge un large éventail d'outils de processus et de chimies pour permettre l'intégration des appareils de nouvelle génération. Il utilise un graveur, asher ou litho-graveur compatible avec le processus et est capable de fonctionner en continu dans presque n'importe quel environnement. L'unité est équipée de systèmes de contrôle et d'automatisation très avancés pour permettre une personnalisation optimale de la recette de processus pour répondre aux besoins des clients. Le procédé de gravure polyvalent de TEL 300T permet une gamme de gravures de structures en couches minces telles que la gravure de grille intermédiaire, la gravure en creux profond, la gravure d'isolation de tranchée peu profonde et la gravure d'espaceur de jonction. Il supporte également des modules de nettoyage avancés avec une bande acide intégrée pour l'élimination complète des matières organiques de la plaquette. Cette machine utilise un ensemble spécial de matériel tels que la baguette et les interfaces d'alimentation pour les recettes de gravure et d'asher définies par l'utilisateur. L'outil avancé de contrôle des processus avec auto-stabilisation permet des opérations de gravure et d'asher très précises. TOKYO ELECTRON 300T est conçu pour une flexibilité et une robustesse de processus inégalées dans un seul outil de manipulation de plaquettes de 30cm (12 pouces). Il est équipé d'un transfert automatique très fiable pour le transfert de plaquettes et d'un asher plasma proche du champ He (NH3). Le module de surveillance de la lueur du plasma NH3 permet une surveillance précise de l'état du processus de gravure/asher. De plus, le modèle avancé de contrôle des processus ajuste automatiquement le profil de puissance et de débit pour assurer un processus de gravure cohérent et répétable. L'équipement est extensible pour le traitement de jonction ultra-peu profonde incluant la gravure de poche et de bouchon, la planarisation BPSG, et le recuit d'hydrogène. Il est également capable de former des structures sans oxyde par des procédés thermiques de courte durée. 300T est compatible avec une variété de produits chimiques dont Ar, NF3, SF6, CCl2F2, O2 et H2, selon le procédé. La bibliothèque de recettes LINX permet de mettre en place des conditions de gravure et de nettoyage optimales avec un minimum de temps de configuration et de test. Cette bibliothèque contient également une gamme complète d'informations de sécurité concernant chaque procédé et la résistance à la corrosion. En outre, le logiciel TEM offre une fonction d'extraction qui permet une évaluation facile des paramètres clés du processus, y compris la profondeur de gravure, l'anisotropie, le taux de gravure, les performances de gravure et l'uniformité des dimensions critiques. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON 300T est un système de gravure et d'asher puissant et fiable conçu pour la fabrication d'appareils de pointe. Il dispose d'un large éventail d'outils de procédé, de chimies et de fonctions d'auto-stabilisation pour assurer des opérations de gravure/asher cohérentes et répétables et pour une personnalisation optimale de la recette de procédé. La polyvalence de l'appareil le rend également adapté à de nombreuses applications dans la fabrication d'appareils d'aujourd'hui.