Occasion TEL / TOKYO ELECTRON 305DD #9389396 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON 305DD est un graveur/asher conçu pour les besoins de processus à haut volume dans l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Il utilise une technologie de transport continu de film de grande capacité, ce qui réduit le temps de charge et améliore le débit des plaquettes traitées dans l'outil. Le 305DN dispose d'une conception à double chambre, permettant à l'utilisateur de passer rapidement entre deux processus sans avoir à arrêter l'outil. La recette de procédé peut être facilement mise à jour et transmise à la machine, assurant un fonctionnement rapide et efficace. La chambre de gravure peut accueillir 400 mm de plaquettes semi-conductrices, tandis que la chambre de cueillette peut traiter jusqu'à 300 mm de plaquettes. Le processus de gravure peut être contrôlé avec une précision et une précision élevées, tandis que le processus d'ashing dispose d'un système plasma RF unique, qui est capable de contrôler la puissance, la durée et le temps de cycle pour fournir des résultats cohérents. TEL 305DD dispose également d'un étalement thermique de pointe et d'autres techniques de gestion thermique pour garantir des performances optimales et une uniformité des processus de gravure. Pour assurer la sécurité, l'outil dispose d'un écran de sécurité intégré, qui bloque l'émission de particules dangereuses. La fonction d'automatisation avancée de l'outil lui permet d'ajuster les paramètres physiques, y compris la pression, la température, la puissance RF et la vitesse, en fonction de l'application du procédé, réduisant ainsi les risques de défaillance du produit. TOKYO ELECTRON 305DD est équipé d'un module de pompage pour perfusion, qui fournit un approvisionnement régulier en produits chimiques frais à la chambre de gravure, augmentant la durée de vie du produit et réduisant les coûts d'entretien. Enfin, il est livré avec un système de surveillance qui permet aux utilisateurs de surveiller les paramètres de processus et les performances de production en temps réel.