Occasion TEL / TOKYO ELECTRON 580 LC #62133 à vendre en France

ID: 62133
Taille de la plaquette: 6"
RIE etcher, 6".
TEL/TOKYO ELECTRON 580 LC Asher est un équipement de taille moyenne pour la gravure ou la cueillette de films ou d'autres échantillons minces pour une application dans une grande variété de procédés. Il s'agit d'un graveur à gaz qui utilise de l'oxygène ou d'autres gaz pour graver des films sensibles ou des produits similaires. Le système innovant offre un volume d'environ 11 litres, et dispose d'un modèle d'échantillon circulaire. Cela le rend idéal pour une variété d'applications, telles que Nanoimprint Lithography (NIL) et d'autres films minces ainsi que des applications de balisage. L'unité est conçue dans une structure verticale, avec un couvercle supérieur plus mince pour augmenter les temps de cyclage thermique et un couvercle inférieur plus épais pour soutenir une plus grande stabilité mécanique. La machine utilise également un débit de gaz à grande vitesse dans la chambre supérieure et est conçue avec un faible niveau de pression dans la chambre inférieure. Cette combinaison fournit un faible niveau de pression et l'environnement gazeux à grande vitesse pour la gravure rapide des films et autres échantillons minces. Le graveur/asher est équipé d'un écran intégré pour surveiller et contrôler le processus de gravure/ashing films ou produits similaires. Cela comprend un écran LCD qui montre un profil dépendant du temps du processus, y compris des détails tels que la pression, la température et le courant. L'outil s'intègre également à divers dispositifs externes, tels que les ordinateurs, pour faciliter l'exportation et l'analyse des données. En outre, l'actif est livré avec une gamme de caractéristiques de sécurité, telles que des alarmes et des indicateurs LED, qui alertent les opérateurs de tout problème potentiel lié au processus de gravure. TEL 580 LC Asher est un modèle fiable et polyvalent pour graver ou aspirer une variété de films minces ou de produits similaires. Il s'agit d'un équipement sûr, efficace et de haute précision qui peut être utilisé pour une grande variété d'applications, y compris la lithographie Nanoimprint (NIL) et le balisage. Ce système est bien adapté aux environnements de laboratoire et de production et est un excellent choix pour tout projet nécessitant précision et fiabilité.
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