Occasion TEL / TOKYO ELECTRON 5K5499 #9148403 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON 5K5499 est un graveur/asher très avancé qui offre une solution rentable pour les ingénieurs de procédé. Doté d'une chambre entièrement automatisée, il peut accueillir jusqu'à deux plaquettes de 300mm/12 "pour la gravure ou la cendre. L'instrument combine un contrôle précis de la température et une large gamme d'options de débit avec la source exclusive de PECVD/plasma sous-jacente. La combinaison de technologies avancées d'injection de gaz et de matériel et de logiciels sophistiqués assure le plus haut degré de cohérence des processus. Tout d'abord, cet asher/etcher offre une gamme de performances supérieures en fournissant des contrôles automatisés de précision améliorés. L'instrument est également capable de gérer automatiquement jusqu'à deux processus, permettant une efficacité optimale et des rendements plus élevés. TEL 5K5499 offre une large gamme d'options de processus qui peuvent être personnalisées en fonction des exigences de l'ingénieur de processus. Ces processus comprennent la gravure, les cendres, les CVD et divers autres procédés spécialisés. Le système hautement automatisé comprend des paramètres programmables de gaz, de temps et de température. La plage de température est de 100 à 400 ° C, et le débit maximal est de 600 sccm. Cet instrument polyvalent offre également deux modes de fonctionnement : un mode manuel et un mode automatique pour le fonctionnement de processus multiples. De plus, lors du traitement, cet instrument maintient les conditions de processus souhaitées pour obtenir les meilleurs résultats. L'instrument dispose d'un système de gestion des données intelligent qui permet une interface et une surveillance des processus faciles. TOKYO ELECTRON 5K5499 fonctionne par les systèmes d'exploitation Windows et comprend un panneau LCD couleur 12.1 "pour afficher les données de processus. Le système comprend également un logiciel manuel autonome pour l'exécution et le contrôle des processus interéactifs. Le logiciel manuel autonome comprend un large éventail de fonctionnalités pour surveiller et gérer les conditions de processus. 5K5499 est conçu pour augmenter l'efficacité du processus, minimiser la perte de déchets et assurer la stabilité et la répétabilité du processus. Il est équipé d'une source PECVD (dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma) pour garantir la meilleure qualité des résultats de gravure et d'ashing. L'instrument fonctionne par une interface utilisateur propriétaire et offre une gestion complète des données, la surveillance des processus, et des fonctionnalités de contrôle des processus. Grâce aux caractéristiques avancées de l'instrument, il offre des résultats fiables et cohérents et peut répondre aux besoins de l'ingénieur de procédé le plus avancé.