Occasion TEL / TOKYO ELECTRON 8500PE #293759276 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE est un graveur/asher conçu pour les semi-conducteurs et autres procédés de micro-fabrication. Il est basé sur une source avancée d'ICP (plasma inductif couplé) similaire à ceux utilisés dans les systèmes ICP-RIE (Reactive Ion Etching), et utilise à la fois un processus de nettoyage humide et sec. TEL 8500PE peut être utilisé pour nettoyer et graver des matériaux, du silicium, du quartz et du silicium polycristallin, à l'or et au cuivre. Il fonctionne en nettoyant d'abord les substrats pour assurer une surface propre et exempte de contamination avant le traitement. Pour le nettoyage, TOKYO ELECTRON 8500PE utilise un flux de gaz Argon avec de l'oxygène ajouté, produisant une source ICP avec une puissance RF programmable. Ce plasma ionisé élevé peut nettoyer une plaquette en un temps plus court avec un enlèvement de matière plus uniforme. En outre, 8500PE dispose également d'une capacité de gravure à sec dédiée. Le mode de gravure à sec utilise la même source ICP que le processus de nettoyage, avec l'ajout d'un flux de gaz chlore, spécialement adapté au type de matériau à graver. Grâce à cette source RF améliorée, TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE est en mesure de maintenir une vitesse de gravure et une uniformité constantes sur plusieurs plaquettes. TEL 8500PE est intégré au progiciel TEL Contol, permettant aux utilisateurs de programmer une variété de recettes de gravure. Avec le logiciel, les utilisateurs peuvent contrôler tous les paramètres, y compris le temps de traitement, le débit de gaz, les paramètres ICP et la température des plaquettes. Le logiciel Control permet également de connecter TOKYO ELECTRON 8500PE à d'autres appareils dans un réseau local. Cela permet le transfert de données entre plusieurs 8500PEs, ainsi qu'avec des bases de données externes ou d'autres ordinateurs. 8500PE est disponible depuis plus d'une décennie et est maintenant largement utilisé dans les industries des semi-conducteurs et de la micro-fabrication, fournissant un procédé de gravure et de nettoyage économique et fiable. Qu'il soit utilisé dans un système autonome ou intégré dans une machine plus grande, TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE reste un outil essentiel dans la micro-fabrication moderne.