Occasion TEL / TOKYO ELECTRON 8500PE #9113041 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE est une machine à graveur et asher plasma conçue pour assurer un contrôle précis et la précision de la gravure. Doté d'un système de commande de mouvement CNC à trois axes, TEL 8500PE est spécialement conçu pour fournir des résultats de haute qualité sur une large gamme d'échantillons. TOKYO ELECTRON 8500PE produit des motifs de gravure anodisés utilisant une combinaison de techniques de photorésist et de gravure anodique. 8500PE supporte la précision de répétition jusqu'à 5 µm pour les plaquettes de plus grande taille, avec une régularité allant de +/- 0,02 mm. On obtient ainsi des résultats de gravure cohérents, même sur les dispositifs et substrats les plus précis. TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE repose sur une combinaison soit de couplage condensatif haute fréquence, induction RF segmentée indépendamment, soit de contrôle PECVD (dépôt chimique en phase vapeur renforcé par plasma) pour le contrôle de la puissance de la source de plasma. Pour un contrôle supplémentaire de l'UFD (uniformité et densité de caractéristiques), TEL 8500PE est également en mesure d'utiliser des polarisations simultanées et des ressources de polarisation de substrat. TOKYO ELECTRON 8500PE possède une charge de particules extrêmement faible, et est capable d'atteindre des taux d'échappement allant jusqu'à 12 CFM (pieds cubes par minute). La température la plus basse atteinte par la chambre de gravure est d'environ 10 ° C, offrant un fonctionnement flexible et efficace pour une variété de substrats et d'applications. 8500PE est conçu pour un fonctionnement facile et sûr, avec plusieurs caractéristiques de sécurité. En plus d'un port d'observation sous vide, TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE peut être équipé d'une console d'accès à distance, permettant aux utilisateurs de surveiller et d'ajuster les paramètres du processus à distance. Dans l'ensemble, TEL 8500PE est un choix idéal pour les processus de gravure de précision et de cueillette de plasma. Sa compatibilité monobloc, son système de commande de mouvement CNC à trois axes et ses capacités de polarisation variable et de polarisation de substrat offrent une capacité de gravure vraiment complète. De plus, les dispositifs de sécurité améliorés de TOKYO ELECTRON 8500PE assurent une sécurité et une protection optimales pendant le fonctionnement.