Occasion TEL / TOKYO ELECTRON 8500PE #9146011 à vendre en France
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ID: 9146011
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1999
Oxide etch tool, 8"
1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE est un graveur automatique haute performance spécialement conçu pour répondre aux besoins du marché de la production de semi-conducteurs. Avec une seule chambre, TEL 8500PE est une machine polyvalente capable à la fois de graver et d'aspirer, et elle est capable de le faire à des débits élevés et avec une grande précision. TOKYO ELECTRON 8500PE est équipé de deux cassettes de plaquettes à actionnement pneumatique pouvant contenir jusqu'à 200 cassettes de 200 mm ou 150 cassettes de 300 mm. Les cassettes de plaquettes sont chargées dans la chambre d'équipement, et les plaquettes sont ensuite transférées au module de gravure ou de cueillette via un robot de manutention intégré. Le robot contient également des systèmes de vision et d'efficacité finale qui lui permettent de transférer avec précision les plaquettes vers et depuis le module de gravure ou de cueillette. Le processus de gravure et/ou de cueillette est ensuite surveillé et contrôlé par un système de contrôle avancé. Cette unité de commande dispose d'une interface utilisateur graphique facile à utiliser qui permet la surveillance et le contrôle en temps réel du processus. Il dispose également d'une variété de recettes de processus et de capacités de suivi, permettant aux opérateurs de mettre en place et de maintenir des processus de production rapidement et facilement. 8500PE dispose d'une variété d'outils de gravure et d'ashing et de gaz pour fournir un large éventail de capacités de processus. Il dispose également d'une machine avancée de récupération des gaz d'échappement qui permet de réduire l'impact environnemental en récupérant jusqu'à 99 % des gaz de procédé. Enfin, TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE est capable de manipuler diverses plaquettes telles que du silicium, de l'arséniure de gallium, etc. Il dispose également de plusieurs zones de chauffage, permettant une gamme de températures de processus, et il peut accueillir des plaquettes jusqu'à 300mm de taille. Dans l'ensemble, TEL 8500PE est un graveur automatique robuste et puissant spécialement conçu pour le marché de la production de semi-conducteurs. Avec son outil de commande avancé, sa polyvalence des procédés et sa convivialité environnementale, il est bien adapté pour répondre aux besoins de production de semi-conducteurs modernes.
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