Occasion TEL / TOKYO ELECTRON 8500PE #9158331 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE est un graveur/asher utilisé dans la fabrication de puces semi-conductrices. Il est conçu pour un large éventail d'applications, y compris l'amincissement de résines, l'isolation de tranchées peu profondes (STI), la formation d'électrodes métalliques, le contact de tranchées peu profondes (STC) et la gravure diélectrique. TEL 8500PE est un puissant graveur/asher qui utilise la technologie Parallèle Electron Analogique (PEA). Ceci lui permet de générer une grande uniformité de gravure avec une densité d'ions élevée et une répartition plasma uniforme sur la surface du substrat. La technologie PEA aide à minimiser la non-uniformité du processus et fournit des rapports d'aspect plus élevés pour les étapes critiques de gravure utilisant la gravure directionnelle et non-directionnelle. TOKYO ELECTRON 8500PE dispose d'une chambre de processus très flexible qui offre une large gamme de tailles et de formes de substrat. De plus, l'étage interne de plaquette peut être déplacé à diverses positions pour améliorer la capacité de processus et le contrôle. 8500PE est capable de faire fonctionner plusieurs gaz simultanément ou indépendamment, ce qui le rend adapté à diverses applications de gravure. Le débit de gaz est contrôlé avec précision avec le système intégré de débit de gaz. Le contrôle des processus de gravure de TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE est géré par une interface utilisateur à écran tactile qui est conviviale et optimisée pour un changement rapide de produit entre les processus. TEL 8500PE est également équipé de fonctions de contrôle avancées telles que le réglage des conditions de gravure en temps réel et différentes recettes pour différentes applications ou procédés. De plus, la base de données Etch stocke des recettes et des processus définis par l'utilisateur pour un rappel pratique et pour simplifier le processus de gravure. TOKYO ELECTRON 8500PE dispose de systèmes de diagnostic avancés et de commandes d'interception pour détecter et minimiser les défaillances de processus, garantissant une fiabilité élevée des processus. Il dispose également d'un excellent refroidissement et de la stabilité de la pression, permettant un profil de gravure plus uniforme. Globalement, 8500PE est un graveur/asher fiable et efficace pour la production d'une large gamme de dispositifs semi-conducteurs. Avec sa grande uniformité de processus, son contrôle flexible des processus et son système de diagnostic avancé, TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE est conçu pour fournir des résultats supérieurs.