Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Certas #9311001 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Certas est un graveur/asher utilisé dans le traitement des plaquettes. Le dispositif est un graveur de substrat de type à plaques parallèles et asher avec une précision de niveau optique pour le traitement des plaquettes jusqu'à 200 mm de diamètre. Il est conçu pour être utilisé dans une variété de processus de gravure et de cueillette. L'étage de rotation Tel Certas est conçu pour supporter la plaquette lors du traitement avec sa forme symétrique assurant une répartition uniforme des contraintes sur la plaquette. La vitesse de rotation de cet étage est réglable de 5 tr/min à 300 tr/min. L'étage peut supporter des substrats jusqu'à 5 kg de poids. La chambre multi-plaques de gravure/cendres de ce dispositif est conçue pour fournir des procédés efficaces de gravure et de cendrage par plasma avec un total de six plaques. Ceci permet de réaliser une plus grande variété de procédés au sein d'une même machine. Le plasma généré dans cette chambre est transporté efficacement à la surface de la plaquette, assurant une vitesse de gravure et un nettoyage des plaquettes fiables. TOKYO ELECTRON Certas est également conçu pour permettre l'utilisation de divers gaz de procédé dans ses opérations. Cette caractéristique permet d'utiliser le dispositif avec une variété d'applications différentes telles que les procédés standard de gravure et de nettoyage, la gravure photorésist, et la gravure diélectrique. L'option d'utiliser à la fois des gaz de procédé standard et nouveaux aide l'opérateur à obtenir des résultats optimaux de leur traitement de plaquettes. Le panneau de commande de l'appareil est conçu pour être adapté à l'opérateur, avec des fonctions faciles à utiliser et une interface utilisateur graphique. Cela permet à l'opérateur de définir rapidement et avec précision les paramètres de son processus. Le dispositif dispose également d'un système intégré de détection de défaut qui déclenche une alarme si une condition anormale est détectée. Cela aide l'opérateur à identifier rapidement les problèmes qui peuvent avoir surgi au cours du traitement. En conclusion, Certas est un graveur/asher conçu pour offrir précision, fiabilité et polyvalence dans le traitement des plaquettes. Avec sa vitesse de rotation réglable, sa chambre multiplaque et sa capacité à traiter une variété de gaz de procédé, le dispositif est adapté à une variété d'applications. Le panneau de contrôle convivial et les systèmes de diagnostic intégrés de l'appareil le rendent facile à utiliser, ce qui donne confiance aux utilisateurs dans les performances de l'appareil.
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