Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Chamber for SCCM #9204386 à vendre en France
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Vendu
TEL/TOKYO ELECTRON Chamber for SCCM est un graveur/asher haute performance conçu pour les processus de gravure et de cendrage. Cette chambre est idéale pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, notamment en multicouche, et a été utilisée dans un large éventail d'applications. Il permet de contrôler le processus avec une précision et une répétabilité élevées, de processus de gravure/cendres simples à complexes. TEL Chamber for SCCM offre un certain nombre de caractéristiques telles que son système de double four pour le recuit et l'ashing, et son système de gaz intégré qui fournit un contrôle précis et cohérent du gaz et du débit. Cette chambre dispose d'un système de mélange efficace qui permet une manipulation efficace des particules, et dispose d'une variété de fonctions adaptées aux exigences du processus et de l'application. Cette chambre intègre également une suite logicielle avancée qui permet un contrôle et une surveillance complets des processus. TOKYO ELECTRON Chamber for SCCM offre également un certain nombre de caractéristiques de sécurité telles que des capteurs à faible concentration de gaz O2 et des arrêts d'urgence pour assurer un fonctionnement sûr. De plus, la chambre est conçue pour être étanche et résistante aux fuites, permettant des opérations stables et répétables. Cette chambre est également équipée d'une technologie de régulation de température avancée qui permet un fonctionnement précis et uniforme sur une gamme étendue, ce qui la rend adaptée à une variété de matériaux et de recettes. Il peut être exploité par l'utilisation de paramètres d'optimisation de paramètres de chambre, permettant l'utilisation simultanée de 8 paramètres. Chambre pour SCCM est utilisé dans une variété de paramètres et d'applications, de la fabrication de photomasques et LCD à SOI et la fabrication de dispositifs de mémoire. Cette chambre est un ajout fiable et efficace à toute ligne de traitement de semi-conducteurs, offrant une précision et une répétabilité de contrôle de processus élevées.
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