Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Chamber for SCCM #9226603 à vendre en France

TEL (TOKYO ELECTRON/TE) TEL/TOKYO ELECTRON Chamber for SCCM (Sub-Critical Chemical Mechanical Pollishing) est un graveur/asher qui utilise un procédé mécanique chimique pour polir et graver des micro-structures sur des substrats. Cet équipement de pointe permet la production de fonctionnalités micro-structurées avancées avec une grande précision et qualité. TEL/TOKYO ELECTRON/TE TEL Chamber for SCCM a un procédé breveté qui utilise des interactions chimiques et mécaniques pour polir et graver des micro-structures sur des substrats. Dans ce procédé, le matériau cible est positionné sur le dessus d'un plateau tournant multi-niveaux, et le substrat est d'abord traité par une solution chimique pendant un temps. Ensuite, le substrat est exposé à un environnement de polissage à grande vitesse, dans lequel une boue abrasive est entraínée par un spin de plateau et pressurisée avec une pression précise. Le lisier abrasif contient des matériaux abrasifs diamantés qui sont précisément contrôlés par un mécanisme de dosage. On procède ensuite à une gravure douce utilisant une couche sacrificielle de matière molle formée dans l'intervalle entre les deux niveaux de plateaux. Une fois le processus de polissage terminé, le substrat est exposé à une étape de rinçage, suivie d'une étape de séchage, pour éliminer tout résidu. Pour garantir une qualité supérieure, TEL/TE TOKYO ELECTRON Chamber for SCCM est équipé d'une gamme de fonctionnalités avancées. Ceux-ci comprennent : un système de régulation de la température et de la pression hydraulique pour le réglage de précision de la rotation et de la pression des plateaux ; un moniteur monochrome continu pour la stabilisation des processus ; un contrôleur de mouvement avancé pour le déplacement et le contrôle du substrat ; canaux et vannes intégrés de circulation du gaz ; un sous-système de contrôle de la composition et des caractéristiques des solutions chimiques ; et une unité de détection et de surveillance des fuites pour surveiller la propreté de la chambre de gravure. En outre, TOKYO ELECTRON/TE Chamber for SCCM est conçu pour prévenir efficacement la contamination par les poussières et les particules à l'aide d'une machine de pressurisation différentielle. Avec son contrôle précis et efficace des processus et ses fonctionnalités avancées, TEL/TOKYO ELECTRON/TE TEL/TOKYO ELECTRON Chamber pour SCCM fournit des résultats prévisibles et reproductibles, ce qui en fait une solution idéale pour produire des caractéristiques micro-structurées avec une grande précision et qualité. En plus d'être très fiable et efficace, cet outil est également faible sur la maintenance et offre une interface d'exploitation conviviale, ce qui en fait un choix idéal pour les opérations à petite et grande échelle. En outre, cette machine est pleinement conforme aux normes et lignes directrices internationales applicables, telles que la SEMI/FSE et la protection de l'EDD.