Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Chamber for Tactras Vigus #9298663 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Chamber for Tactras Vigus (ETCHER/ASHER) est un appareil de gravure par lots de pointe. La chambre est conçue pour contrôler avec précision les dimensions et la forme des micro-structures gravées, et elle automatise la température totale du procédé, la pression du gaz, la température du bain et divers types de gaz de gravure peuvent être contrôlés à distance. La chambre Tactras Vigus est adaptée à : la production de MEMS, de plaquettes, SOI et Si, la gravure de verre, divers procédés semi-conducteurs tels que le CMP et le nettoyage, et la gravure de cartes de circuits haute fréquence telles que RF. Sa plage de température est de -10 à 400 ° C et la gamme de pression est de 0,1 à 600 mbar. La chambre est également équipée d'Argon (Ar), d'Azote (N2), de Dioxyde de Carbone (CO2), d'Hydrogène (H2) et d'autres gaz, pour faciliter les processus de gravure. Le système de gravure est également équipé de caractéristiques avancées telles que : une unité de refroidissement arrière, une machine d'homogénéisation de la température, un outil d'alimentation en gaz, un actif de gaz inerte, un modèle de purge de gaz, et une fonction de recette préprogrammée pour les recettes pré-configurées pour répondre à diverses exigences de processus. La chambre est certifiée par le Japan Industrial Standard (JIS) et est conforme aux normes suivantes : Online Foul Gas Reduction (FGR) *, E-ferrite Argon gas FGR, et CVD * *. Il est également équipé d'une fonction de régénération FGR * * *, pour réduire la quantité de gaz dangereux produits lors de la gravure. De plus, la chambre dispose de réglages préprogrammés pour différentes combinaisons de gaz, afin de faciliter le processus de gravure. En outre, la chambre Tactras Vigus est approuvée pour l'utilisation dans les industries des semi-conducteurs et de l'électronique, et est livré avec une garantie d'un an. Sa conception le rend facile à utiliser et à entretenir, avec un panneau LCD convivial et un panneau de commande pratique. Il est capable de graver une grande variété de matériaux, ce qui en fait un dispositif polyvalent pour toute une gamme d'applications de gravure. Globalement, TEL Chamber pour Tactras Vigus est un équipement de gravure avancé qui fournit des performances fiables et des résultats de gravure précis. Avec ses fonctionnalités conviviales et une large gamme de types de gaz de support, il est adapté à différents procédés de gravure. * FGR - Foul Gas Removal * * CVD - Chemical Vapor Deposition * * * FGR - Foul Gas Remediation