Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Chambers for SCCM #293602570 à vendre en France

Les chambres TEL/TOKYO ELECTRON pour SCCM sont un système de graveur et asher avancé idéal pour le traitement de précision des substrats semi-conducteurs. Composé à la fois de gravure humide et de cendres sèches, TEL/TOK Chambers est conçu pour fournir les niveaux les plus élevés de contrôle et de précision, améliorant les rendements et maximisant les performances de débit. Les chambres se composent d'une chambre à vide en acier inoxydable avec des composants de chambre séparés qui permettent un contrôle précis de la température et du processus, offrant une uniformité supérieure. Les systèmes de gravure et de cueillette panasoniques donnent des résultats fiables et reproductibles avec de faibles niveaux de dommages au substrat. Les chambres sont réglables jusqu'à 6 "de large et ajustent certaines conditions telles que la pression de la chambre, la température et la pression tout au long du processus de gravure/cendres, assurant un contrôle et des résultats maximaux. Afin d'assurer davantage la précision et l'uniformité, les chambres intègrent des technologies innovantes telles que la fourniture uniforme de gaz et l'énergie d'ablation - y compris une plaque de diffusion de gaz, permettant un flux précis de gaz. Un pulvérisateur d'eau dé-ionisé (DI) basse pression est également disponible, ce qui aide à maintenir une pression cible précise dans la chambre. Ceci, à son tour, contribue à éliminer l'accumulation de particules sur le substrat, assurant une gravure, un cendrage et un traitement précis. En outre, les chambres disposent d'une structure d'électrode étanche, qui est conçu pour accueillir le processus de gravure humide, fournissant une basse pression et une gravure précise et uniforme. Cela permet de minimiser les incohérences de gravure, ce qui réduit les défauts. La conception contribue également à promouvoir le haut débit et à réduire le temps de cycle. Avec une construction durable, une excellente précision de contrôle de la température et des processus, des technologies innovantes et des performances très fiables et reproductibles, TOKYO ELECTRON/TOK TEL Chambers for SCCM sont le graveur idéal pour les substrats semi-conducteurs de pointe, améliorant les rendements et maximisant les performances de débit.