Occasion TEL / TOKYO ELECTRON DRM #293607522 à vendre en France

TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON DRM est un équipement de gravure/ashing conçu pour les industries des semi-conducteurs et des photomasques. C'est un système automatisé puissant pour graver rapidement et avec précision les substrats de grande surface. Il se compose d'une chambre de procédé principale et de quatre sous-chambres. La chambre principale est une grande enceinte chauffée en acier inoxydable, équipée d'une entrée et d'une sortie chauffées, d'une unité d'échappement, d'une machine à gaz de purge, d'une source de gaz de traitement et d'un outil de transport d'échantillons. Les sous-chambres sont utilisées pour fournir une variété de gaz de procédé, y compris le fluor, le chlore, l'hydrogène, l'azote et l'oxygène. Les gaz sont stockés dans leurs sous-chambres respectives et sont exécutés aux pressions et températures requises pour réaliser le procédé souhaité. Une pompe à vide est également prévue pour l'évacuation de la chambre de procédé. L'actif de transport de l'échantillon est constitué d'un bras robot qui déplace les substrats de l'échantillon de la chambre principale vers les sous-chambres. Le modèle possède également une source de plasma intégrée. Ce plasma est utilisé pour nettoyer la chambre, exposant la surface à graver à des ions réactifs. Le plasma aide également à contrôler le processus de gravure en contrôlant précisément la densité et le type d'ions présents. Cela permet un contrôle très précis du processus. De plus, un équipement d'interception est utilisé pour s'assurer que la chambre reste fermée pendant le déroulement du processus. Le système TEL DRM est extrêmement polyvalent et peut être utilisé pour diverses applications de gravure, y compris la gravure de films minces, les motifs fins et l'usinage de longs métrages. Il est facile à mettre en place et à utiliser et est capable de fournir des résultats supérieurs avec des défauts minimes. L'unité est également très économe en énergie et est capable de produire des gravures de haute qualité en peu de temps.