Occasion TEL / TOKYO ELECTRON DRM #293616604 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON DRM est une machine de gravure utilisée pour transférer des motifs sur un substrat. Cette machine fonctionne par soufflage d'une plaquette de silicium (ou autre matériau) avec un faisceau de particules chargées, telles que des ions, afin de créer les motifs désirés sur la surface de la plaquette. Ces ions retiennent de l'énergie et si l'énergie de ce faisceau est suffisamment faible, les ions ne vont pas créer de dommages à la matière en même temps. Cette machine est également connue sous le nom de photorésist asher ou de dry etcher car son mécanisme de gravure consiste à utiliser des ions au lieu de produits chimiques dans le processus de gravure. Cette méthode de gravure permet une gravure beaucoup plus rapide avec moins de débris (car aucun produit chimique liquide n'est utilisé) et peut produire des motifs avec beaucoup plus de détails que peut être atteint avec une gravure liquide. TEL DRM utilise un procédé de gravure assisté par plasma pour plus de précision. Dans ce procédé, un gaz neutre (typiquement un mélange d'hélium et d'oxygène) est introduit dans la chambre de la machine puis une haute tension est appliquée entre deux électrodes. Le champ électrique entre les deux électrodes provoque la charge du gaz et la formation d'un plasma. Les ions de molécules de gaz individuelles dans le plasma entrent en collision avec la surface de la plaquette tout en conservant leur réseau énergétique intact, évitant ainsi tout endommagement de la plaquette. Le faisceau d'ions peut être focalisé dans des zones spécifiques et avec ce faisceau, la machine stocke une bibliothèque de millions de motifs de gravure différents qui sont utilisés lors du processus de gravure. De plus, pendant le processus de gravure, la machine peut être commandée avec une tension externe, ce qui modifiera l'énergie nette du plasma et pourrait fournir un contrôle et une précision supplémentaires pour le processus de gravure. TOKYO ELECTRON DRM est une machine très précise et fiable, capable de créer des largeurs de ligne extrêmement faibles, et des motifs de haute résolution. Cette machine peut atteindre un résultat final de haute qualité avec une maintenance minimale et peut être utilisée sur une large gamme de matériaux. C'est un choix populaire et efficace pour la gravure de films minces dans une variété d'industries.