Occasion TEL / TOKYO ELECTRON / EPION UltraTrimmer #293798863 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON/EPION UltraTrimmer est un équipement de pointe de graveur/asher conçu pour des processus d'enlèvement de matériaux précis et efficaces dans la fabrication de semi-conducteurs et les applications avancées d'emballage. Cet outil de pointe est spécialement conçu pour répondre aux exigences strictes de l'industrie des semi-conducteurs pour le traitement des matériaux haute performance, haute précision et à haut débit. TEL UltraTrimmer est un produit phare de TEL, un leader renommé dans la fabrication d'équipements semi-conducteurs. EPION UltraTrimmer utilise des techniques avancées de gravure et de cendrage du plasma pour obtenir un contrôle et une répétabilité supérieurs des processus en éliminant divers types de matériaux tels que les photorésistants, les films diélectriques, les métaux et d'autres films minces des substrats avec une grande précision et des dommages minimes. Le système est équipé de sources de plasma de pointe, de capacités avancées de surveillance et de contrôle des processus et d'une interface conviviale pour un fonctionnement et une productivité améliorés. L'une des caractéristiques clés de TOKYO ELECTRON UltraTrimmer est sa capacité de traitement de haute précision, qui permet l'enlèvement de matériaux de niveau sub-micron avec une excellente uniformité sur la surface de la plaquette. Ce niveau de précision est essentiel pour créer des motifs et des structures complexes dans des dispositifs semi-conducteurs avancés aux dimensions nanométriques. L'unité offre un large éventail de paramètres de processus et de configurations pour répondre à divers types de matériaux, tailles de substrat et exigences de traitement, le rendant hautement polyvalent et adaptable à différentes applications. UltraTrimmer est conçu pour offrir une répétabilité et une stabilité de processus élevées, assurant des résultats cohérents sur de longues séries de production. La machine utilise une technologie avancée de détection d'endpoint pour suivre avec précision l'avancement du processus de gravure/ashing en temps réel et terminer le processus une fois que l'endpoint désiré est atteint. Cette fonctionnalité permet de minimiser la surgravure ou la sous-gravure des matériaux, ce qui améliore l'efficacité et le rendement du procédé. Outre ses capacités de précision et de contrôle des processus, TEL/TOKYO ELECTRON/EPION UltraTrimmer est également connu pour ses performances de débit élevées. L'outil est équipé de multiples capacités de manutention de plaquettes, permettant le traitement simultané de plusieurs plaquettes pour augmenter la productivité et réduire les temps de cycle. Les systèmes efficaces de distribution et d'évacuation du gaz améliorent encore son débit en permettant une pompe à chambre rapide et des débits de gaz. TEL UltraTrimmer est conçu avec des caractéristiques de sécurité avancées pour assurer la protection de l'opérateur et la fiabilité de l'équipement. Le modèle est équipé de dispositifs de sécurité automatisés, de capteurs de détection des fuites de gaz et de mécanismes d'arrêt d'urgence pour prévenir les accidents et les dommages à l'équipement. La conception de la chambre et les matériaux utilisés dans la construction de l'équipement sont choisis pour résister aux environnements chimiques durs et aux températures élevées associés au traitement du plasma. Dans l'ensemble, EPION UltraTrimmer est un système de pointe de graveur/asher qui offre des performances, une précision et une fiabilité supérieures pour les applications exigeantes de traitement des semi-conducteurs. Grâce à sa technologie de pointe, à ses capacités avancées de contrôle des procédés et à ses performances élevées en matière de débit, TOKYO ELECTRON UltraTrimmer est un outil essentiel pour les fabricants de semi-conducteurs qui cherchent à obtenir des résultats de haute qualité et une meilleure productivité dans leurs processus de production.
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