Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1-H #293641258 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1-H est un graveur/asher conçu pour la fabrication de dispositifs de niveau wafer. Il utilise le traitement multi-chambres, multi-gaz et multi-cassettes et est capable de manipuler des plaquettes de 100mm et 150mm. Avec cet etcher/asher, le processus de fabrication de l'appareil au niveau de la plaquette est beaucoup plus rapide et efficace qu'avec les procédés classiques. TEL Formula-1-H etcher/asher est équipé d'une plate-forme multi-chambres qui permet à la fois la gravure humide et sèche. Sa fonctionnalité multi-gaz ajoute de la polyvalence avec jusqu'à quatre gaz transformables, ce qui permet une panoplie de réactions. Cela permet à la fois la gravure profonde et la gravure par masque dur, ainsi que la gravure par contact et la gravure anisotrope. La fonction multi-cassettes permet un remplissage contrôlé des gaz, éliminant le temps de manutention et optimisant les retournements. L'isolement des gaz de procédé améliore également la sécurité environnementale et peut réduire la charge des salles blanches. TOKYO ELECTRON FORMULA 1H est conçu pour la fabrication de dispositifs de niveau wafer pour des procédés à couche unique et multicouche à haut débit de production. Il a une conception de consommation de faible puissance, avec un robot de transfert de plaquettes rapide qui peut réduire le temps de processus. La plate-forme multi-chambres est conçue pour la flexibilité et l'évolutivité, permettant une variété de nouveaux processus qui peuvent être affinés au besoin. Le système dispose également d'une surface de chambre dorée, réduisant les coûts d'entretien et assurant un traitement plus propre. TOKYO ELECTRON Formula-1-H comprend un système de nettoyage automatique pour prévenir la contamination des procédés. Le système comprend également des caractéristiques de sécurité avancées, assurant une sécurité optimale de l'opérateur. Formula-1-H graveur/asher est idéal pour une utilisation dans l'industrie des semi-conducteurs, permettant la fabrication de dispositifs au niveau des plaquettes avec une efficacité maximale.