Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1-H #293641260 à vendre en France

ID: 293641260
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2002
Diffusion furnace, 12" Missing parts: VV1 Valve VV2 Valve (2) 3887-202745-12 FFU Cylinders 015-017731-1 SIH2CL2 MFC Waves monitor VEC Controller 2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1-H (F1-H) est un graveur/asher à hautes performances qui est utilisé pour traiter rapidement des plaquettes à semi-conducteurs. Il est capable de graver et de soutirer des plaquettes à des températures allant jusqu'à 600 ° C et dispose d'un double équipement d'alimentation en gaz pour supporter la gravure des trois principaux matériaux semi-conducteurs. Le F1-H est également équipé d'un filtre/image de table haute résolution et de systèmes de traitement d'image numérique, ainsi que de systèmes avancés de contrôle des processus. Le F1-H a une conception améliorée avec une chambre à vide robuste à base d'aluminium et est capable d'effectuer la gravure et la cendre avec le même procédé et la même chambre. Cela permet de fabriquer des largeurs de lignes serrées et des niveaux de tolérance pour la production de circuits VLSI complexes. De plus, le contrôle des processus est facile à configurer et à maintenir avec le terminal dédié de la console F1-H. Le F1-H est également équipé d'un système avancé de refroidissement de la chambre, qui maintient la température de la chambre stable pendant le traitement et élimine les contraintes thermiques sur les pièces de travail. De plus, l'unité de distribution de gaz de l'unité permet un contrôle précis du gaz jusqu'à six canaux de gaz indépendants, permettant un contrôle précis des paramètres de gravure et d'ashing. Le F1-H dispose également d'une machine de nettoyage des plaquettes qui peut être configurée pour utiliser des méthodes de nettoyage douces pour réduire le potentiel d'endommager les plaquettes délicates. Le F1-H a un temps de processus de seulement 30 minutes, ce qui couplé à ses excellentes capacités de gravure et de cueillette, permet un haut débit et l'efficacité de fabrication. De plus, le contrôleur programmable de l'unité permet aux utilisateurs de stocker et de rappeler des recettes de processus, et est compatible avec plusieurs logiciels standard SEMI. Dans l'ensemble, le F1-H est un graveur/asher fiable et performant qui convient à la production en grand volume de composants semi-conducteurs multicouches.
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