Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1-H #9268382 à vendre en France
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ID: 9268382
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2003
Nitride furnace, 12"
Gas process: DCS-SiN and ALD High-K on LPCVD
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1-H est un graveur/asher de précision utilisé dans la fabrication de dispositifs microélectroniques. Il s'agit d'un procédé de gravure ultra-haute précision qui combine des performances de gravure de pointe de l'industrie, ainsi qu'une grande capacité de plasma et d'échappement, ce qui donne une grande uniformité et des hauteurs de gravure très faibles. Pour ce faire, on utilise un magnétron plan, qui permet une hauteur de gravure uniforme, ainsi qu'un algorithme propriétaire de commande de la tension d'anode. L'ensemble de l'appareil de gravure est conçu pour minimiser la production de particules et améliorer la qualité du procédé. TEL Formula-1-H utilise des technologies d'imagerie avancées pour réaliser un processus d'ultra-haute précision. Cette technologie d'imagerie reconnaît les motifs de films minces et les grave avec une grande précision et précision. En plus des matériaux de gravure, TOKYO ELECTRON FORMULA 1H peut être utilisé pour la gravure pure ainsi que la gravure et le placage à haut rapport d'aspect. Cela le rend adapté à un large éventail d'applications. La gravure à grande vitesse réalisée par TEL/TOKYO ELECTRON FORMULA 1H est basée sur une combinaison d'un processus de gravure de haute précision et l'utilisation de la technologie de réglage de tension anodique plasma. Cette gravure à grande vitesse permet de réaliser une gravure ultra-précise en peu de temps, tout en évitant toute détérioration du matériau du substrat ou des composants environnants. La gravure à grande vitesse améliore également l'uniformité de la hauteur de gravure, permettant une finition de haute qualité et de haute précision. Le processus de gravure est contrôlé par l'équipement automatique de surveillance in situ multi-fréquence, qui fournit des processus de gravure très stables et des conditions de gravure précises. De plus, le système de contrôle automatique de la concentration garantit que le processus est ajusté correctement et de façon cohérente pour maintenir des conditions de gravure optimales, permettant des résultats fiables et reproductibles. Enfin, toutes ces caractéristiques sont intégrées dans une seule unité pour un processus de production simplifié. En outre, cette machine est également conçue pour être flexible et facilement personnalisée pour des applications et des exigences spécifiques. Cela garantit que Formula-1-H combine la technologie la plus moderne avec un processus de production très efficace.
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