Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Formula ALD High-K #9263878 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Formula ALD High-K (ou FormulAlD) est un graveur/asher avancé conçu pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Le produit est un équipement autonome au niveau des lots capable de fournir des capacités de gravure et de cueillette avancées pour répondre aux besoins de production de lithographie semi-conductrice avancée. Le système FormulAlD dispose d'une architecture optimisée à double chambre qui comprend une chambre de gravure à sec brevetée et modulée et une chambre de gravure de performance supérieure. La chambre de gravure sèche permet un taux de gravure le plus élevé possible tout en minimisant les dépôts de contaminants. La chambre utilise une technologie brevetée de double polarisation qui combine trois impulsions haute fréquence indépendantes contrôlées par fréquence dans chaque cycle pour fournir un taux de gravure sans précédent sur une grande variété de matériaux. La première impulsion est utilisée comme procédé de pré-nettoyage et les deuxième et troisième impulsions offrent une gravure précise et répétable avec un appui minimal sur la surface gravée. La chambre comprend un moniteur de gravure installé TEL avec des capacités de surveillance en temps réel et de suivi des recettes. La deuxième chambre est la chambre de cendre avancée qui est optimisée pour cueillir les matériaux métalliques et isolants avancés. En utilisant un procédé en trois étapes qui comprend une montée en température rapide, une montée en température en deux étapes et un refroidissement rapide, le cendrier est capable de graver des vitesses allant jusqu'à 2000 nm/min. La chambre utilise également une unité de pyrométrie directe non invasive qui surveille constamment les températures de la plaquette pendant le processus de cueillette. Ce procédé assure un profil ashing uniforme sans variation de topographie de surface. En plus de l'architecture à double chambre, la machine FormulAlD dispose également de nombreuses technologies, telles que des circuits de recyclage plasma en option et un contrôle de la taille des particules de sous-2 µm. La consigne de contrôle de la taille des particules est réglable et couplée à un outil de nettoyage in situ de 3 microns, l'actif est capable de niveaux de contamination extrêmement bas. En outre, le modèle dispose également d'un canal intégré de bande de résistance en option pour le contrôle post-gravure de la surface de la plaquette. L'équipement FormulAlD est le seul graveur/asher avancé de son genre disponible sur le marché. Le système est capable d'effectuer des gravures et des cendres avancées d'une variété de matériaux pour répondre aux exigences géométriques les plus strictes et est idéal pour les lignes de production à haut volume. L'unité a été testée et éprouvée dans de multiples applications et offre des performances fiables ainsi qu'une productivité améliorée.