Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Formula ALD High-K #9283434 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Formula ALD High-K etcher/asher est un appareil de gravure avancé, commandé par ordinateur, utilisé pour la fabrication de semi-conducteurs, MEMS et autres nanodévices. Le système utilise la technologie de dépôt par couche atomique (DAL) pour permettre le contrôle précis des matériaux résistants et/ou gravables pendant le processus de gravure. TEL Formula ALD High-K est équipé de deux chambres : une pour la gravure plasma, et une pour la cueillette plasma. La machine exécute les deux méthodes dans une seule chambre, avec un seul outil de transfert de plaquettes. L'actif a une source de RF inductif supérieure et inférieure, fournissant un chauffage uniforme et une source de faible puissance qui peut être utilisée pour la gravure ou le cendrage. Il comprend également une gamme de paramètres personnalisables pour correspondre aux recettes de processus. Le modèle peut traiter une variété de types de matériaux résistants et gravables, y compris SiO2, SiN, Si, AlOx, diélectrique/semi-conducteur/polymérique/conducteur diélectrique/métaux, et d'autres matériaux. La puissance de gravure programmable par logiciel, la pression et le temps de traitement permettent aux utilisateurs de choisir des conditions optimales parmi une large gamme de recettes. TOKYO ELECTRON Formula ALD High-K etcher/asher a la capacité de nettoyage in-situ, permettant une production continue et un débit plus élevé. De plus, l'équipement a réussi à obtenir des performances de gravure/cueillette lisses et uniformes sur les plaquettes. Ce système avancé est capable de traiter de nombreuses plaquettes en parallèle, avec un contrôle précis des paramètres de gravure/cendres et de la bande de résistance. Son haut débit, son homogénéité et son contrôle précis des gravures/cendres en font un outil idéal pour la fabrication de semi-conducteurs, la fabrication de MEMS et d'autres procédés de traitement des nanodévices. Avec son contrôle précis de la gravure et de la cendre, Formula ALD High-K etcher/asher est le meilleur choix pour tout laboratoire de nanotechnologie/nanofabrication.