Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Formula #293620672 à vendre en France
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ID: 293620672
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2003
Deposition furnace, 12"
Process: SiN
Option: N28
Hard Disk Drive (HDD)
(2) Load ports
Chamber
RCU
N2 Box
Power box
Refill system
BTBAS
Gas detector box
Floor box
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula est un équipement de gravure/asher très avancé conçu pour un traitement précis, efficace et fiable des plaquettes semi-conductrices. Sa technologie innovante est utilisée dans un large éventail d'applications, de la fabrication de dispositifs microélectroniques au développement de nouveaux types de matériaux. Au cœur, le système TEL Formula se compose de deux composants de base. Le premier est le microprocesseur à balayage intégré (ISMP), qui est chargé de contrôler l'ensemble de l'unité et de fournir des données de traitement de substrat et de rétroaction. La seconde est la chambre de gravure à base de plasma (PEC), qui abrite la gravure et d'autres procédés liés à l'usinage d'une plaquette semi-conductrice. Le PEC dans TOKYO ELECTRON Formula est capable de processus de gravure de haute précision, obtenant des galettes de haute qualité avec un niveau élevé de précision et de répétabilité. La machine est capable de graver divers matériaux, dont des métaux, des diélectriques et même du nitrure de gallium (GaN). Le PEC dispose également de son propre outil de refroidissement intégré qui assure des températures de gravure précises, ainsi que son propre actif d'élimination des déchets. L'ISMP de Formula permet à l'utilisateur de prendre le contrôle total du processus de gravure, permettant des résultats de gravure précis et reproductibles sur une variété de matériaux. En tirant parti de l'algorithme logiciel avancé de l'ISMP, le modèle est en mesure de formuler des stratégies de gravure, ainsi que de suivre les progrès de chaque étape de gravure. Cela garantit que l'utilisateur est en mesure de contrôler avec précision chaque processus de gravure et de produire des plaquettes de haute qualité. TEL/TOKYO ELECTRON Formula est très précis et fiable grâce à son équipement intégré de gestion de la qualité (iQM). Ce système assure une gestion de la qualité en cours de processus, ce qui contribue à assurer le respect constant des normes de rendement souhaitées. En outre, l'unité dispose de différentes couches de sécurité, assurant que toutes les données de qualité sont obtenues, stockées et traitées en toute sécurité. En conclusion, TEL Formula est une machine de gravure et de cendrage avancée conçue pour un traitement précis, efficace et fiable des plaquettes semi-conductrices. Sa technologie innovante, combinée à ses capacités de gestion de la qualité de pointe, en font un choix idéal pour une variété d'applications et est idéal pour un tissage très détaillé et précis des plaquettes semi-conductrices.
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