Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9098194 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Formula est un graveur et asher très sophistiqué utilisé dans le domaine de la fabrication de semi-conducteurs. Il s'agit d'un système monobloc conçu pour les procédés de dépôt et de gravure et peut être utilisé pour une grande variété d'étapes dans la fabrication de semi-conducteurs, y compris le dépôt de couches minces, la gravure, ou le polissage chimique-mécanique. La conception unique de ce graveur/asher offre des temps de processus rapides, un débit plus élevé et une uniformité de processus améliorée. TEL Formula a utilisé diverses sources de plasma pour graver et façonner les matériaux. Ce graveur/asher dispose à la fois de chambres de procédé sous vide et haute pression. La chambre à vide est utilisée pour la réalisation de procédés de gravure, de dépôt de couches minces ou de CMP. La chambre haute pression est utilisée pour augmenter la productivité et obtenir des interfaces de meilleure qualité avec le substrat. La conception innovante de TOKYO ELECTRON Formula est basée sur un générateur RF à deux fréquences et un générateur RF à impulsions courtes et haute fréquence qui fournissent des puissances élevées et faibles, respectivement. Le principal avantage de cette conception est qu'elle permet des taux de gravure plus élevés ainsi qu'une meilleure uniformité de surface. En outre, le générateur à double fréquence permet également des temps de processus plus rapides et un meilleur contrôle des processus. La conception avancée de Formula permet également l'utilisation de températures plus basses, permettant une meilleure compatibilité des matériaux et une flexibilité accrue des processus. Cette technologie permet d'utiliser des matériaux de pointe et des procédés de dépôt de film de haute performance ainsi qu'une sélectivité de gravure supérieure. En outre, TEL/TOKYO ELECTRON Formula dispose également d'un contrôle de fréquence incident global pour optimiser les performances de gravure et améliorer le contrôle des processus. La performance globale de TEL Formula est très impressionnante. Ce graveur/asher offre une excellente répétabilité du procédé, un débit élevé et des vitesses de gravure supérieures, ce qui en fait un choix attrayant pour une large gamme de procédés de fabrication de semi-conducteurs. De plus, la conception avancée permet des temps de traitement beaucoup plus rapides ainsi qu'un contrôle amélioré des processus, permettant aux fabricants d'obtenir des rendements plus élevés et un contrôle précis des processus.