Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9211539 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Formula est un appareil de gravure à grande vitesse conçu pour le traitement des dispositifs semi-conducteurs. Il utilise un processus de gravure multidirectionnelle unique pour obtenir un maximum d'efficacité et de précision. Le système est équipé de commandes tridimensionnelles de précision pour fournir les meilleures caractéristiques de gravure pour chaque application. TEL Formula est également conçu pour soutenir une variété de techniques de processus, y compris la gravure à sec et à plasma. Le procédé de gravure à sec intègre un faisceau de volatilité avec une unité avancée de distribution de mélange gazeux. Cette combinaison fournit une vitesse de gravure élevée et une uniformité pour le dépôt de couches minces. Le procédé de gravure plasma combine plasma ultra haute densité avec une structure plasmonique haute résolution pour une productivité de gravure supérieure. TOKYO ELECTRON Formula dispose également d'un jet de vapeur supersonique haute densité (SVJ) pour augmenter l'efficacité de gravure et la sélectivité du plasma. SVJ permet de produire un taux de gravure plus élevé et un coût de gravure plus faible par rapport aux procédés de gravure traditionnels. En outre, la machine est équipée d'un outil d'alimentation RF et de divers capteurs pour assurer un contrôle précis du processus. En outre, Formula est conçu pour optimiser le processus de gravure en permettant aux utilisateurs de sélectionner les meilleurs paramètres de gravure basés sur l'application. Par exemple, l'utilisateur peut régler le débit de gaz, la vitesse de gravure, la profondeur de gravure, la taille des tranchées et la largeur des impulsions de gaz. Cette capacité de personnalisation avancée garantit que les utilisateurs peuvent produire les appareils de la plus haute qualité avec le taux de gravure le plus élevé. TEL/TOKYO ELECTRON Formula est une solution de gravure unique pour le traitement de dispositifs semi-conducteurs. Sa combinaison de fonctions avancées de contrôle et de personnalisation permet des taux de gravure plus rapides, une plus grande précision et une productivité supérieure. Il est facile à mettre en place et à utiliser, donc même ceux avec une expérience de gravure limitée peuvent facilement tirer le meilleur parti de l'actif.
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