Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9256202 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Formula est un graveur/asher conçu pour la haute précision et l'automatisation lors des tâches de traitement des plaquettes. Les fonctionnalités avancées de TEL Formula garantissent un processus reproductible pour la création de composants de haute qualité. La plate-forme est entraînée par une chambre à vide multi-zones, un émetteur et un canal d'isolation, qui fournissent des conditions précises et réglables pour les applications de gravure et de cueillette avec une large gamme de gaz. Il est capable de manipuler des plaquettes jusqu'à 200mm de diamètre à des températures allant jusqu'à 800 ° C et avec une pression différentielle allant jusqu'à 5,7 torrs. Il utilise également un logiciel propriétaire de Control Logic System (CLS) pour contrôler précisément l'environnement de traitement des plaquettes et surveiller les données en temps réel. TOKYO ELECTRON Formule offre une productivité et une uniformité de film élevées avec une faible charge d'entretien et de fournitures. La machine est construite avec une architecture de quatre étages qui peut être configuré en fonction des exigences d'application et de processus du client. En outre, Formula peut basculer entre plusieurs processus, permettant aux utilisateurs de personnaliser leurs applications de gravure et d'ashing au besoin. TEL/TOKYO ELECTRON Formula dispose également d'une interface homme-machine (HMI) qui permet un contrôle automatisé des paramètres de gravure et d'ashing et un autodiagnostic de l'état du système. La série TEL ETLINE permet une gravure rapide et rentable de différentes cibles, dont les métaux, le diélectrique, le silicium polycristallin et les matières organiques. La série dispose d'une chambre à quartz haute résistance pour une répétabilité et une stabilité supérieures des processus, ainsi que d'un contrôle automatisé des processus via une suite intégrée du système de contrôle des processus (PCS). La série ETLINE est spécifiquement conçue pour améliorer la répétabilité, la répétabilité, la reproductibilité, le débit et l'uniformité des processus de gravure et d'ashing. TEL Formula est un graveur/asher de pointe qui fournit un processus cohérent et répétable pour créer des composants de haute qualité. La plate-forme dispose de fonctionnalités et de technologies avancées pour assurer un traitement précis des plaquettes, tout en offrant une productivité élevée, une uniformité du film et des coûts d'entretien faibles. La série ETLINE est spécialement conçue pour les applications de gravure et de cendrage, offrant une répétabilité, un débit et une uniformité de processus améliorés. Toutes ces fonctionnalités se combinent pour faire de TOKYO ELECTRON Formula un excellent choix pour les utilisateurs qui ont besoin d'applications précises de gravure et d'ashing.