Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9277488 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Formula est un graveur/asher (également connu sous le nom d'équipement ashing) qui utilise le plasma pour vaporiser et éliminer efficacement les substances organiques d'un substrat. La technologie de gravure de TEL Formula est conçue pour des applications à haut débit, offrant une utilisation efficace du gaz et des performances de débit supérieures. Le système est capable de traiter des substrats dont la taille peut atteindre 200mm et utilise une configuration à double source (plasma et gaz de gravure) pour assurer un contrôle précis de la gravure. Il dispose également d'un débit de gaz de procédé optimisé, permettant à l'utilisateur d'obtenir des résultats stables et reproductibles. TOKYO ELECTRON Formule comprend deux types de sources de plasma - RF et plasma froid. La source RF utilise une large gamme de radiofréquences (RF) pour maintenir le plasma, tandis que la source Cold Plasma utilise une source de flux continu pour activer le gaz. L'utilisation de deux sources de plasma permet à l'utilisateur de traiter différents types de matériaux avec des taux de gravure différents, ainsi que d'introduire un profil de gravure graduel qui fournira un résultat de gravure plus stable. L'unité dispose également de différents niveaux de vide, allant de 10,3 Pa à 100 Pa pour des processus efficaces de nettoyage et de gravure de substrat. Une technologie améliorée des WetDes est intégrée pour prévenir les défauts de particules sèches sur le substrat. La température du substrat peut également être contrôlée à partir du bas de la chambre. Il a une caractéristique d'huile pompée épaisse qui fournit une température stable et uniforme pour éviter la surchauffe du substrat, augmentant la qualité du résultat de gravure. Formula dispose également d'une machine intégrée de surveillance des processus qui permet à l'utilisateur d'observer et de corriger la dérive des processus en temps réel. Il comprend le contrôle de la recette pour programmer les paramètres du processus, la surveillance de la température, le contrôle de la vitesse de gravure et la détection des paramètres. Toutes ces fonctionnalités aident à assurer un processus de gravure rapide, précis et répétable. TEL/TOKYO ELECTRON Formula est un outil de gravure idéal pour une large gamme d'applications telles que le silicium cristallin, le silicium polycristallin et les transistors à couches minces. En outre, sa conception robuste et ses multiples sources de plasma en font une plate-forme parfaite pour des technologies de gravure plus avancées. C'est un graveur efficace pour les fabricants et les établissements de recherche qui exigent une gravure à haut débit et précise pour leurs travaux.