Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9300651 à vendre en France

ID: 9300651
Taille de la plaquette: 12"
Furnace, 12" Process: ALD High-K.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula (TEF) est une gravure/asher de haute précision utilisée pour la production de substrats semi-conditionnels et d'autres applications sensibles en couches minces. TEF offre une précision et une stabilité inégalées, ce qui en fait un outil idéal pour des applications de gravure et d'asher plus exigeantes. La gravure TEF/asher a une vitesse de gravure réglable en continu, produisant des résolutions ultra fines avec des largeurs de ligne minimisées. Il combine une précision de pointe avec un processus de gravure fiable à long terme pour fournir des résultats de gravure et de cueillette précis et reproductibles. Le TEF gravure/asher est disponible dans une variété de tailles et de fonctions, conçu pour répondre à toutes les exigences de substrats et gravure/asher. Il peut être connecté et installé à l'intérieur d'une installation standard de salle blanche, permettant un entretien facile et le fonctionnement de la gravure/asher. Le TEF dispose également d'un équipement automatisé de dépôt de poudre, qui permet le dépôt précis de poudres sensibilisantes, permettant d'améliorer la précision et les résultats de gravure. TEF gravure/asher est alimenté par air sans poussière et peut être utilisé avec des graveurs électrochimiques, généralement utilisés dans les applications semi-conducteurs. Il dispose également d'une chambre en acier inoxydable qui assure une gravure/cueillette constante et peut être pressurisée ou dépressurisée à volonté. Le TEF peut gérer une variété de paramètres de processus de gravure/asher de sorte que différents résultats de gravure et ashing peuvent être atteints. Le TEF gravure/asher dispose également d'un système de vision qui peut surveiller avec précision plusieurs processus de gravure/ashing en séquence, améliorant le débit et la précision. La machine est contrôlée par un contrôleur de mouvement programmable, offrant une précision et une flexibilité extrêmes aux processus de gravure et de cueillette. Une unité d'alarme intégrée surveille les conditions du processus et peut arrêter la machine en cas d'écart par rapport aux paramètres standard. Pour la gravure précise et le cendrage des substrats, la gravure/cendrier TEF est un choix idéal. Ses performances supérieures et sa fiabilité en font le graveur/asher de choix pour de nombreuses applications de semi-conducteurs et de couches minces. Avec sa précision imbattable, son installation facile dans une salle blanche standard et son outil automatisé de dépôt de poudre, TEF fournit une solution efficace et fiable pour les besoins de gravure/asher.
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