Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9300652 à vendre en France

ID: 9300652
Taille de la plaquette: 12"
Furnace, 12" Process: ALD High-K.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula est un type de graveur/asher utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Ce graveur/asher est idéal pour les applications de photolithographie et de gravure. La machine peut être utilisée pour graver à travers une gamme de matériaux tels que l'aluminium, le silicium et le silicium polycristallin. Il est également équipé d'une chambre de gravure humide qui permet des résultats de gravure plus précis et plus propres. TEL Formula est équipé d'une source de faisceau d'électrons ainsi que d'une chambre de dépôt chimique en phase vapeur, ou CVD. La source de faisceau d'électrons fournit un faisceau d'électrons qui peut être utilisé pour décomposer le matériau. Ceci est particulièrement utile lors de la gravure de motifs délicats en raison de sa nature précise et délicate. La chambre CVD permet de déposer des matériaux sur le substrat de choix. Ceci est utile lorsque des couches précises sont nécessaires pour former un dispositif dans l'industrie des semi-conducteurs. TOKYO ELECTRON Formula est commandé par un équipement de commande numérique (DCS). Ce système permet aux opérateurs de programmer les paramètres nécessaires pour produire des résultats de gravure propres. Ces paramètres comprennent le niveau de courant du faisceau, la taille du faisceau, la tension, le temps d'exposition, la pression du gaz, le débit et la composition du gaz. Il dispose également d'une spectrométrie optique d'émission (OES) qui aide à surveiller l'environnement de la chambre, tandis qu'un microscope électronique à balayage (SEM) est utilisé pour évaluer les résultats de gravure. La formule est maintenue dans un état de fonctionnement optimal à l'aide d'une gamme de tests et de contrôles. Les essais utilisés pour vérifier l'unité comprennent une inspection visuelle, des mesures de tension, des essais d'injection et des contrôles de température et de vide. La machine est ensuite calibrée pour assurer son fonctionnement selon les spécifications de l'usine. TEL/TOKYO ELECTRON Formula est un puissant graveur/asher pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Les capacités de gravure et de dépôt précises fournies par l'outil permettent la fabrication de dispositifs de haute qualité avec des résultats précis et propres. L'actif de contrôle numérique avancé et une large gamme de tests et de contrôles garantissent des conditions de travail optimales et des résultats cohérents. Cela fait de TEL Formula l'un des graveurs/cendres les plus fiables et efficaces disponibles.
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