Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9300653 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Formula est une machine de graveur/asher conçue pour le traitement de substrat. Cette machine utilise des procédés de gravure ionique réactive (RIE) et de gravure chimique en phase vapeur (CVD) pour effectuer des gravures et d'autres procédés de substrat. TEL Formula etcher/asher combine deux types de technologie de gravure pour obtenir des résultats maximaux. Le premier type est RIE, qui utilise un plasma à couplage inductif (ICP) pour graver les substrats. ICP est une technologie de gravure efficace, et peut être adaptée au modèle spécifique désiré. La technologie RIE est utilisée pour créer des modèles tels que des tranchées et des colonnes. Le deuxième type est la gravure chimique en phase vapeur (CVD), qui est un procédé de gravure sèche. Ce procédé est également très efficace et peut être adapté pour créer des motifs de gravure précis. La gravure CVD est couramment utilisée pour amincir les couches et créer des vias de substrat traversant (TSV) pour les circuits hautement intégrés. TOKYO ELECTRON Formula etcher/asher est conçu pour contrôler précisément le processus de gravure. Il utilise une gamme de paramètres pour contrôler les processus de gravure tels que la pression, la température, le temps et la puissance. Cela permet une gravure précise et une meilleure répétabilité du processus. Pour la compatibilité des matériaux, Formula etcher/asher peut travailler avec une variété de substrats tels que le silicium, le quartz et d'autres matériaux. Il peut également travailler avec une gamme de précurseurs tels que les chlorures, les fluorures et les alcanes. En outre, TEL/TOKYO ELECTRON Formula etcher/asher offre un haut niveau d'automatisation. Cette automatisation permet d'effectuer des processus sans surveillance et avec une intervention minimale. Les processus d'automatisation tels que la télécommande et la planification des processus réduisent le temps de traitement jusqu'à 50 %. Dans l'ensemble, TEL Formula etcher/asher est un système fiable et précis pour effectuer la gravure et d'autres tâches de traitement de substrat. Il offre une gamme de technologies de gravure, un haut niveau d'automatisation, et la compatibilité avec une variété de substrats et de précurseurs. Cela en fait un choix populaire pour la gravure et d'autres procédés de substrat.