Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9384119 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Formula est un équipement de gravure avancé (ou ashing) conçu pour des applications de fabrication de semi-conducteurs. Ce système est capable de réaliser des processus de gravure très complexes avec une grande précision et répétabilité. TEL Formula est livré avec une variété d'outils différents tels que la source de plasma, la chambre à vide Clean Etch, un générateur de plasma, et le processeur de cellules mémoire de silicium point final. Ensemble, ces composants sont conçus pour permettre à l'utilisateur de réaliser des procédés tels que la planarisation chimico-mécanique (CMP), la gravure plasma et la gravure sèche. Il est également doté de la capacité de surveiller, mesurer et contrôler le processus de gravure. La source de plasma dans TOKYO ELECTRON Formula est capable de produire un plasma très uniforme et répétable avec un haut degré d'ionisation. On obtient ainsi un motif de gravure cohérent qui peut être dirigé précisément le long des chemins prévus. La chambre à vide Clean Etch permet à l'utilisateur de régler des tensions de gravure spécifiques et des débits de gaz pour assurer une gravure uniforme. Le générateur de plasma fournit une source d'énergie puissante pour la gravure précise et répétable. Enfin, le processeur de cellules mémoire en silicium de point final s'appuie sur les capacités du générateur de plasma en permettant aux utilisateurs de stocker et d'utiliser jusqu'à 40 recettes de gravure différentes avec un seul bouton. Les contrôles sophistiqués utilisés dans Formula permettent une caractérisation et une surveillance avancées des processus. Il s'agit du taux de gravure DC et RF, du rapport DC : RF, du contrôle de la profondeur de gravure, de la qualité de la surface après gravure, de la densité de la ligne, du recouvrement et de la défectivité. Cette unité permet également le profilage de hauteur et offre une visualisation en temps réel du processus de gravure à travers la machine Meso-Cam. Cette caractéristique permet à l'utilisateur d'affiner les zones de la plaquette pour une gravure plus précise et d'observer les caractéristiques de gravure sans avoir à tirer la plaquette. Les caractéristiques avancées de TEL/TOKYO ELECTRON Formula permettent d'assurer la qualité et la précision des processus de gravure. Cet outil fournit un boîtier de gravure complet avec la flexibilité nécessaire pour effectuer des procédés sophistiqués tels que la gravure sèche, le fraisage ionique, le liftoff d'oxyde, la gravure profonde de silicium et la gravure à haut rapport d'aspect. Il peut également être utilisé pour le nettoyage post-gravure de plaquettes en utilisant soit la gravure ionique réactive (RIE) ou la gravure sèche assistée par le carbone (CADe), améliorant le contrôle des processus et l'amélioration des rendements. Utilisée conjointement avec d'autres produits TEL, la formule TEL offre une solution efficace et rentable pour améliorer le contrôle des procédés et l'optimisation des rendements. L'actif est conçu pour une intégration facile dans les processus en ligne et peut être configuré pour répondre à des besoins de production spécifiques. Cet outil aide les fabricants à contrôler les processus à un degré plus élevé de précision, assurant ainsi des niveaux plus élevés de qualité et de fiabilité des produits.