Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9384151 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Formula (TEF) est un graveur/asher conçu pour une gravure de plaquettes à haut débit et très fiable. Il comprend une lithographie avancée, des capacités de dépôt en couches minces et un module de gravure ionique réactive (RIE) de haute précision. La plate-forme TEF utilise des technologies de contrôle des procédés plasma de pointe pour assurer une uniformité de gravure optimale, la répétabilité et la couverture des processus. Il est capable d'obtenir un excellent profil de gravure, sur un large éventail de matériaux de substrat. L'équipement TEF est basé sur une structure de type cadre composée d'un générateur RF, chambre de gravure et chambre de transfert de plaquettes. Le générateur RF est utilisé pour créer le plasma nécessaire à la gravure de la plaquette. La chambre de gravure est une chambre à quartz de qualité semi-conductrice très résistante aux contraintes thermiques et mécaniques, permettant au système de fonctionner pendant de longues périodes avec un minimum d'entretien et de temps d'arrêt. La chambre de transfert des plaquettes est conçue pour minimiser le temps entre les plaquettes, ce qui permet des gravures continues. L'unité TEF utilise de multiples technologies pour obtenir une précision et une uniformité de gravure élevées. Les procédés avancés de lithographie et de dépôt sont utilisés pour créer des motifs spécifiques à la surface de la plaquette et former un profil de gravure stable tout au long du processus de gravure. La machine est également capable d'effectuer une gravure de couche atomique (ALE) pour des motifs de lithographie ultra-minces. L'outil est équipé de technologies de contrôle des processus telles que les mesures de vitesse de gravure en temps réel, la détection des paramètres et les capacités de diagnostic des processus. Ces technologies sont utilisées pour suivre l'avancement du processus de gravure et s'assurer que les caractéristiques gravées sont de la plus haute qualité. L'actif TEF est également conçu avec des capacités de contrôle de la température et de la pression pour assurer une gravure uniforme dans toute la chambre. Enfin, le modèle TEF est conçu pour être intégré aux systèmes d'automatisation des processus. L'équipement est équipé de capacités de manutention de plaquettes qui permettent l'intégration avec d'autres outils de processus dans la ligne de production et d'assurer une transition transparente des plaquettes d'une machine à l'autre. Cela permet d'augmenter le débit sans compromettre la précision ou la qualité.