Occasion TEL / TOKYO ELECTRON HT-800-P2 #9285736 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON HT-800-P2 est un équipement graveur/asher en ligne de haute précision adapté à divers besoins de traitement des plaquettes. Utilisant une chambre de gravure basse pression, le système est capable de gravure et de cendrage extrêmement uniformes sur des substrats de grande surface avec une grande précision et répétabilité. TEL HT-800-P2 intègre une source de plasma ECR haute puissance pour la gravure et l'ashing avec plusieurs gaz d'échappement inertes via des vannes intégrées dans la même chambre. La pompe à vide sèche intégrée permet un échappement rapide des gaz chimiques. La machine etcher/asher fournit un processus précis dans un large éventail d'applications, y compris le nettoyage du côté arrière de la plaquette, gravure, recuit, et film ashing. L'outil dispose également d'une large gamme de pression de travail de 10mT à 1000mT incluant à la fois le vide ultralow et les processus à basse pression, ce qui permet un processus de gravure et d'ashing étendu. Sa source de haute puissance intégrée permet également un contrôle précis de la tension du substrat pour permettre une haute sélectivité de gravure pour une gravure précise sur différents types de substrat. L'actif dispose également d'un mandrin de substrat haute performance précis pour le positionnement et le retrait précis et reproductible des plaquettes. Outre sa polyvalence, le modèle TOKYO ELECTRON HT-800-P2 offre des garanties avancées pour une sécurité et des performances optimales. L'équipement intégré d'interception de sécurité à double zone détecte rapidement les conditions de défaut et ferme la source de plasma si de telles conditions se produisent, y compris pendant les opérations de refroidissement. Le système d'intervention rapide fiable est conçu pour assurer un fonctionnement sûr dans les situations d'urgence et maintenir l'unité dans un état optimal. HT-800-P2 machine etcher/asher est un outil de processus fiable et polyvalent axé sur les résultats pour divers besoins de microfabrication. Son contrôle précis des processus et son outil de sécurité efficace garantissent des performances optimales et une fiabilité maximale dans les conditions les plus exigeantes. L'actif est également très compatible avec d'autres outils pour améliorer encore sa polyvalence et son rapport coût-efficacité.