Occasion TEL / TOKYO ELECTRON HT-800-R4 #9285739 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON HT-800-R4 est une machine de gravure/traitement à haut débit de haute précision conçue pour la fabrication en grand volume de composants semi-conducteurs. La machine dispose de deux chambres de traitement et d'un bras robot pour la gravure/déposition et la manutention des plaquettes. Les chambres de procédé sont équipées d'une grande variété de chambres de gravure/traitement, chacune avec ses propres capacités uniques, y compris l'évaporation de faisceau d'électrons, gravure plasma haute densité, implantation ionique, dépôt plasma chimique, et pulvérisation. Le bras du robot peut être programmé pour gérer le mouvement des plaquettes dans les chambres de processus, ce qui le rend efficace pour un traitement à grande échelle et à haut volume. La machine dispose de débit variable, lui permettant de traiter jusqu'à 50 plaquettes par heure. Il utilise un système de surveillance à trois niveaux pour surveiller la température et la pression à l'intérieur de la chambre de procédé, ainsi que la vitesse de dépôt/gravure, assurant des résultats précis et cohérents. En outre, il dispose d'un système de refroidissement léger qui optimise le gaz injecté. La machine est alimentée par une alimentation qui peut fournir jusqu'à 500 watts. En outre, il est conçu pour réduire la complexité du logiciel, avec une interface utilisateur de l'interface graphique et des instructions de programme améliorées qui réduisent le besoin de programmation. TEL HT-800-R4 etcher/asher est conçu pour des processus de haute précision et à haut débit et dispose de faibles coûts d'entretien et de temps d'arrêt minimal. Sa conception globale robuste le rend adapté à un large éventail d'applications dans la fabrication de semi-conducteurs, et sa flexibilité le rend excellent pour des séries de production à haut volume.
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