Occasion TEL / TOKYO ELECTRON HT910 #293621624 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON HT910 est un graveur/asher à haut débit conçu pour la gravure et le cendrage de haute précision. TEL HT910 fonctionne à 200W pour la gravure et jusqu'à 500W pour le cendrage, avec une chambre à vide de 48 litres, ce qui permet de traiter des substrats plus importants. Le mélangeur de gaz de procédé de TOKYO ELECTRON HT910 peut précisément contrôler jusqu'à quatre gaz dans une gamme donnée, éliminant la nécessité d'acheter plusieurs unités. La configuration de HT910 est également simple. L'interface utilisateur permet un contrôle complet des processus de gravure et d'ashing, y compris les paramètres du processus, la surveillance de la température et le contrôle de l'atmosphère. TEL/TOKYO ELECTRON HT910 est conçu avec une fonction de nettoyage automatique qui automatise le processus de nettoyage en éliminant le besoin de nettoyage manuel. Cette caractéristique améliore la fiabilité du processus en prolongeant la durée de vie de la chambre et en éliminant les erreurs humaines associées au nettoyage. TEL HT910 possède également un équipement de réduction de la pression moyenne qui atteint des niveaux de pureté d'échappement faibles, ce qui lui permet de satisfaire aux exigences de la Clean Air Act en matière d'émissions. TOKYO ELECTRON HT910 a une excellente répétabilité et fiabilité dans la gravure et le cendrage. Le système utilise un rayonnement d'onde lumineuse parallèle pour assurer l'uniformité du processus de gravure. HT910 est également capable de traiter des substrats d'épaisseurs variables avec des résultats similaires. Cela le rend idéal pour les environnements industriels. En termes de sécurité, TEL/TOKYO ELECTRON HT910 est équipé d'une gamme complète de dispositifs de sécurité, y compris une unité de purge des gaz, un capot d'échappement et une machine de détection de gaz en boucle fermée. Le capteur de gaz en boucle fermée détecte les gaz nocifs et active le capot d'échappement pour une protection supplémentaire. Cela garantit la sécurité de l'environnement tant pour les utilisateurs que pour les substrats en cours de traitement. TEL HT910 etcher/asher est conçu pour la gravure de haute précision et le cendrage des substrats. Il dispose d'une capacité de débit élevée, avec une grande chambre à vide pour le traitement de substrat plus grand, et une fonction d'auto-nettoyage pour améliorer la fiabilité du procédé. TOKYO ELECTRON HT910 offre également une excellente répétabilité et des résultats fiables et offre une gamme de caractéristiques de sécurité.
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