Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #293622226 à vendre en France
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ID: 293622226
Style Vintage: 2007
Vertical furnace
Exhaust box
Power box
Heater
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L est un équipement de gravure avancé utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Ce système sophistiqué est conçu pour graver une variété de matériaux rapidement, efficacement et avec un minimum de contaminants. TEL Indy-A-L dispose d'un procédé de gravure en trois étapes, y compris le plasma, la gravure ionique réactive (RIE) et le dépôt physique en phase vapeur (PVD). Dans un premier temps, le matériau est exposé à un plasma à haute énergie. Cela permet aux ions de pénétrer dans le matériau, laissant un motif microscopique gravé dans sa surface. La deuxième étape, RIE, permet à différents gaz d'interagir avec le matériau, ce qui entraîne une gravure plus complexe. Dans la troisième étape, le PVD ajoute du matériel à des zones prédéterminées, permettant un plus grand niveau de contrôle et de personnalisation. Cette polyvalence rend TOKYO ELECTRON Indy-A-L adapté à une gamme de procédés d'emballage avancé et de MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems). Il a une empreinte très faible - sa taille est de seulement 75 cm x 105 cm (largeur x profondeur) - de sorte qu'il peut s'adapter à une zone désignée dans n'importe quelle ligne de production existante. L'unité a également une conception à faible budget thermique, ce qui signifie que sa température est maintenue basse pendant le fonctionnement. Indy-A-L dispose également d'une machine spécialisée Edge Tollerance Control (ETC) qui permet une gravure précise sur les bords des pièces. L'outil est également équipé d'un garde-bras du bras supérieur du robot et d'une source de faisceau d'ions, qui assurent la sécurité du processus. Enfin, TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L est compatible avec une variété d'outils d'analyse, y compris SEM (Scanning Electron Microscope) et XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy). Cela permet une mesure facile et précise des caractéristiques gravées sur le matériau. En résumé, TEL Indy-A-L est un actif de gravure sophistiqué avec une gamme de caractéristiques qui le rendent bien adapté pour une utilisation dans l'industrie de la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Son design polyvalent, sa faible empreinte et ses outils d'analyse avancés en font un outil inestimable pour les entreprises qui cherchent à produire des composants de haute qualité avec une grande précision.
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