Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #293643254 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L etcher/asher est un dispositif dédié dans le processus de fabrication des semi-conducteurs qui élimine les couches indésirables d'oxyde et de poly-silicium d'une plaquette de silicium. Ce procédé permet la fabrication de transistors et autres dispositifs semi-conducteurs. La machine TEL Indy-A-L est conçue pour effectuer une gravure ionique réactive (RIE) très efficace et un ashing à petite échelle. Il dispose d'un générateur RF (radiofréquence) multifréquence qui aide à produire un traitement efficace de la taille des plaquettes jusqu'à 150 mm. Le procédé RIE élimine la couche de matériau indésirable de la plaquette en cassant les atomes à la surface de la plaquette et en générant un panache de plasma ionisé qui élimine rapidement et avec précision les surfaces avec un minimum de dommages. TOKYO ELECTRON Indy-A-L a également une conception multi-chambres avec des éléments chauffants indépendants, qui peuvent être configurés pour traiter de manière optimale les plaquettes qui nécessitent des températures de traitement et des rapports de matériaux chimiques différents. En outre, la machine est équipée à la fois d'un procédé de cendrage chimique accéléré et d'un système intégré de distribution de gaz par gravure sèche, qui permet d'obtenir différents angles de gravure et profondeurs résultantes. En outre, Indy-A-L est conçu avec une capacité d'auto-adaptation intelligente, qui ajuste automatiquement la fréquence RF et l'énergie pour des résultats optimaux. Il dispose également d'un contrôle de la profondeur du plasma multi-étages, qui permet de réaliser plusieurs processus de gravure avec précision en une seule opération. Cela comprend une fonction de source d'ions côté arrière, qui peut être utilisé pour enlever ou graver les revêtements côté arrière. Ces caractéristiques conduisent à un processus de gravure très efficace et fiable pour une variété d'applications de semi-conducteurs. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L etcher/asher est un dispositif fiable, efficace et précis pour la fabrication de structures de dispositifs semi-conducteurs.