Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #9411635 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L est un graveur/asher conçu pour le traitement de substrats semi-conducteurs. Il possède un grand nombre de caractéristiques qui le rendent adapté à une large gamme d'applications. TEL Indy-A-L dispose d'un procédé RIE (réactif ion etch) qui est capable de graver des caractéristiques jusqu'à 0,3 μ m avec un taux de gravure maximal de 8 000 nm/min. Ce procédé de gravure est capable d'obtenir des résultats de haute précision et a la capacité de graver une variété de matériaux tels que le silicium, le nitrure de gallium et le silicium dopé à l'oxygène. Il dispose également d'un mode de gravure « incliné » unique qui permet des rapports d'aspect plus élevés. TOKYO ELECTRON Indy-A-L comprend également un scanner de pointe embarqué qui comprend un équipement de focalisation automatique et un puissant moniteur latéral de plaquette. Ce moniteur permet une imagerie haute résolution de la surface et de l'arrière de la plaquette, permettant un alignement précis du processus de gravure avec les couches modelées sur le substrat. Indy-A-L peut également s'intégrer à divers systèmes d'inspection externe pour améliorer encore la précision et la répétabilité du processus. TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L dispose d'un système de distribution de gaz à haut débit avec une flexibilité impressionnante de contrôle du gaz qui permet une plus grande gamme de cycles de gravure et de recettes. L'unité de distribution de gaz a un débit maximal de 65 SCCM, ce qui lui permet de traiter rapidement de grands substrats. Le module d'avance du jet empêche également le gaz d'entrer dans la chambre en le forçant vers l'extérieur et à l'écart de la plaquette. TEL Indy-A-L dispose d'une interface utilisateur robuste qui permet de régler facilement les paramètres du processus et de modifier les recettes. L'interface utilisateur permet également de surveiller en temps réel les paramètres de gravure, ainsi que le stockage et le rappel des recettes. Les outils de saisie et d'analyse des données à bord assurent la traçabilité des données, tandis que les images SEM (microscope électronique à balayage) à bord et les graphiques CD (dimension critique) permettent une évaluation facile des processus et des performances. TOKYO ELECTRON Indy-A-L est une machine de graveur/asher avancée et très polyvalente qui permet la création de motifs complexes avec des détails fins. Ses capacités de gravure puissantes et facilement réglables le rendent adapté à un large éventail d'applications et de matériaux, tandis que ses capacités d'interface utilisateur et de surveillance riches en fonctionnalités garantissent que le processus est bien compris et étroitement contrôlé.