Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A #293591335 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A est un équipement de graveur/asher haute performance conçu pour répondre aux exigences des applications les plus avancées de la technologie des semi-conducteurs. La plate-forme personnalisable du système offre une suite de capacités de processus, principalement la gravure à sec, le cendrage à sec et le nettoyage à l'état humide. Il est idéal pour une gamme d'applications incluant la gravure intermédiaire de la métallisation du cuivre, le traitement de fond de ligne, l'emballage avancé, et d'autres. TEL Indy-A utilise une configuration de gravure de type aval avec une chambre principale qui est climatisée pour assurer des conditions de processus cohérentes. Il est conçu avec une gamme d'options de source d'énergie, y compris RF, DC et impulsion, ce qui lui permet de répondre aux exigences de processus d'une variété de paramètres. Il offre également un haut degré de flexibilité pour l'optimisation des recettes et la mise en œuvre des processus. TOKYO ELECTRON INDY A est équipé d'une source multi-gaz déployable du côté de la chambre principale, et offre des options personnalisées de distribution de gaz tels que flux variable, plusieurs capsules à distance, et sélections de collecteurs. Cette combinaison produit un processus de gravure haute résolution avec une cohérence et une répétabilité inégalées. TEL INDY A comprend une gamme de fonctions avancées de surveillance des processus et de sécurité pour assurer le fonctionnement le long d'un profil optimisé. Cela comprend une configuration avancée de processus inversé, permettant à un observateur de diagnostiquer rapidement le mécanisme de génération du plasma et offrant un diagnostic rapide et plus précis de tout problème qui pourrait survenir dans la chambre d'etcher. De plus, la machine dispose d'un mécanisme de contrôle en temps réel des capteurs, offrant un contrôle très précis des paramètres de contrôle des gravures, y compris le taux de gravure, la concentration d'oxygène et la température. Indy-A offre des options d'automatisation pour garantir un plus grand degré de flexibilité, de précision et de rapidité dans la fabrication des produits. L'outil est également équipé d'un outil de nettoyage spécialisé, permettant une propreté de surface de haut niveau. INDY A est idéal pour une production à haut volume, offrant aux utilisateurs une excellente productivité et fiabilité.