Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A #9214145 à vendre en France
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ID: 9214145
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
Vertical LPCVD furnace, 12"
Process: DCS Nit
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A est un graveur/asher spécialement conçu pour le traitement précis, efficace et fiable des plaquettes semi-conductrices. Fonctionnant avec une précision et une répétabilité élevées, TEL Indy-A etcher est idéal pour une utilisation dans une grande variété d'applications de production avancées. L'outil de pointe dispose d'une technologie avancée de contrôle des processus avec une définition des bords de coin à coin, des capacités de chasse et de détection des bords et une technologie de gravure plasma à haut débit. TOKYO ELECTRON INDY A est équipé d'un échange automatique de serrure de charge, ce qui entraîne une contamination minimale et un meilleur débit. En outre, sa fenêtre de processus bas kV fournit des taux de gravure rapides, ainsi que des taux de gravure de couche épitaxiale améliorés. En utilisant un procédé local d'oxydation du silicium (LOCOS), TOKYO ELECTRON Indy-A peut graver une couche mince et uniforme d'isolation avec sélectivité, ce qui signifie que seule la zone visée est exposée au procédé de gravure. Cette technologie de gravure sélective est essentielle pour produire des circuits électroniques très précis et très précis. Le processus LOCOS est pris en charge avec une gamme de fonctionnalités, y compris la technologie avancée de contrôle de l'oxydation (ACT), des capacités de définition de pointe, la protection des coins, et des recettes logicielles personnalisables. Avec l'avantage de l'automatisation avancée, INDY a la capacité de graver et nettoyer les plaquettes rapidement et avec précision, avec une efficacité et une uniformité de résultats inégalées. TEL/TOKYO ELECTRON INDY A est extrêmement précis et uniforme, avec une répétabilité < 5 % sur toute la surface de la plaquette. Il fournit une grande variété de capacités de processus, ce qui donne des résultats supérieurs. Indy-A dispose également d'un système avancé de caractérisation du Web (WCS) qui permet aux clients de gérer facilement plusieurs recettes de traitement, ce qui entraîne des rendements plus élevés et une meilleure efficacité des processus. De plus, TEL INDY A est équipé de capacités avancées de surveillance, de contrôle et de rétroaction des processus, qui retracent les données aux utilisateurs en temps réel. Ces informations permettent aux opérateurs d'ajuster le processus en temps réel, en veillant à ce que le produit final réponde aux normes de qualité les plus élevées.
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