Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A #9302270 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A
ID: 9302270
Vertical diffusion furnace.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A est un équipement graveur/asher conçu pour une gravure et un cendrage de précision très fiables. Le système offre une capacité complète de gravure des cendres pour toutes sortes de substrats, y compris les métaux, les alliages, les non-métaux et les plaquettes de silicium. TEL Indy-A est piloté par un contrôleur logique programmable (PLC) qui assure des résultats de gravure et d'ashing optimaux. Il est composé de plusieurs composants, dont une chambre de gravure, buse de gravure, tête de douche et tuyau d'échappement. La chambre de gravure TOKYO ELECTRON INDY A est conçue pour fournir une activité de gravure uniforme pour les substrats. Il est équipé d'une source de gaz qui peut fournir une large gamme de combinaisons de gaz de procédé, y compris des mélanges azote/oxygène pour la gravure plasma. Par ailleurs, une source haute tension est incorporée pour générer un plasma qui peut être ajusté au niveau désiré. La buse de gravure est idéalement située à l'arrière de la chambre de gravure et elle fournit un flux de gaz à haute pression uniforme pour accélérer le processus de gravure. Le débit de gaz est réglable en utilisant le sélecteur de buse et peut être dirigé vers différentes zones de la paroi de bord de la chambre de gravure. La tête de douche de TEL/TOKYO ELECTRON INDY A est également intégrée dans la chambre de gravure et est conçue pour fournir un revêtement ou un nettoyage spécial. La buse de gravure et la tête de douche sont combinées pour fournir une gravure et une activité de cueillette uniformes. La machine dispose également d'un tuyau d'échappement qui est relié au sommet de la chambre de gravure pour évacuer les fumées toxiques. TOKYO ELECTRON Indy-A est un outil de graveur/asher puissant et fiable. Son atout programmable de contrôleur logique (PLC) assure un processus de gravure précis tout en éliminant les erreurs. En outre, il est conçu pour fournir des résultats de gravure et de cendres de haute qualité avec un minimum de temps et de déchets matériels. Le modèle est un excellent choix pour la gravure et l'ashing très précis de différents types de substrats.
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